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超高真空计直接比较校准装置 俞昶殷立新杜涵文陈丽萍 (上海原予核研究所上海201800) ACALmRATIoNFACILITYFOR ULTRAHIGHVACUUMGAUGE BY CoM[PARINGMETHoD YLI ⅥnLjxin，Du Chen Chang， Hallwen， Liping InstinlteofNuclearResearch Shanghai 【摘要】本文介绍一台全金属超高真空计校准装置。该装置采用直接比对法校准，使甩 LEYBOLD IE514分离型超高真空规作为标准，测试室采用球形结构，经过严格表面处理 及调试获得了1×1o-警a极限真空，分别对全压真空计及分压真空计进行了校准，取得了初 步结果。 【关键词】 超高真空一校准 规管 Absn．act：This all—meta：Icalibrationfor direct introducesan ultra vacuurn．The paper faciIity high is for as methodusedcalibr鲥on．LEYBOLDIE514e)血actor isusedst皿dard comparing gauge ch锄bef is can asujtable ofthe把st after shape gauge gauge．The 910be．Itget】×lo-9Papressure 一 _ surface treamlenL words：Ul订a Calibration Key hj曲vacuum Gauge The resultSvacuufnaIld are m血is calibrationfor gaugeRGAreportedpapeL 一、前言 o_9Pa的超高真空范围，压强测 同步辐射装置真空系统及相关的真空实验都处于10*～1 量设备的精度及～致性对真空系统运行及实验结果的分析影响很大。在该仪器上，真空测 量仪器数量大、种类多，它们各自的性能和测量精度，尤其在超高真空范围，是十分重要 的。真空测量在一定范围内是线性的，在高低真空两端都有可能产生偏离线性；另外不同 真空计的测量存在差异，而同种真空计也存在测量离散。这些真空测量仪器必须经过校准 才能使用，因此在同步辐射装置真空实验室建立超高真空计比对装置是必要的，如BLs、 HLs均建立了自己的比对装置flJ。在上海光源预研期间，在上海原子核所真空实验室建立 了自己的真空计比对装置。