无驱动结构硅微机械陀螺的原理分析和性能测试.pdfVIP

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2017-08-16 发布于安徽
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无驱动结构硅微机械陀螺的原理分析和性能测试.pdf

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2009正缇表技术与传感器 2009 增刊 Instrument andSensor Technique supplement 无驱动结构硅微机械陀螺的原理分析和性能测试、张福学，严庆文，吴立锋，张伟 (北京信息科技大学传感技术研究中心，北京100101) 摘要：提出了一种利用旋转栽体自旋角速度驱动的硅微机械陀螺的结构原理，建立了这种陀螺的数学模型并分析计算了该陀螺的结构动力学参数。理论研究和试验表明，利用旋转栽体自身角速度驱动的硅微机械陀螺结构原理正确。通过陀螺性能测试，陀螺输出电压与输入角速度成正比。关键词：旋转载体；微机械；陀螺；角速度中图分类号：TP212 文献标识码：A 文章编号：1002—1841(2008)增一0016—09 andPerformancesTestof PrincipleAnalysis Non．driveSiliconMicromachined Gyro ZHANG Wei Fu-xue，YANQing-wen，WULi—feng，ZHANG CenterofSensor InformationScienceand (Research Technology，Beijing Technology 100101，China) University，neijing andstructureofthetitlementioned inthe usedtheself an- Abstract：The gym principle wa$proposedpaper，which rotating rate0fthe drive rotationcarrier船theforce．Themathematicsmodelw鹊alsoset to thestructure glIlar up analyze dynamicspaxallle- tersofthe thetheoreticalresearchand results thecorrectnessofthe tothe gym．Both experimentprove principle．Accordingper- of of formaneetest the the is to rate． gym，theoutputvoltage gymproportionalinput棚19u】ar words：rotating rate Key carrier；micromechanied；gyro；angular 0引言之后并放大，便得到和被测角速度n成比例的电压信号。 20世纪90年代，随着微电子技术的发展，出现了各种各样的硅微机械振动陀螺¨’81，但它们都是利用振动质量在被基座带动旋转时所产生的