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第19卷第5期 传感技术学报 V01．19No．5
2006年10月 CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORS Oct．2006
AMicroactuatorwith and DriveFeatures
High-ResolutionLarge-Stroke
JIANG
Wen—rui。。LU孙sheng
(SchoolMechantronic institute 150001，China)
of Engineering，Harbinoftechnology，Harbin
Abstract：Anew continuousmicroactuatorwhichisdriverisdrove is basedon
stepping bypiezoelectricdeveloped
for the·contradictionof and in drive，its
tribologyprincipleresolving large-strokehigh-resolutionMacro／micro
is 300
strokeaboutnlnl，theresolutionis0．02 new flexible four-bar
tan．A adjustableparaUel clamping
basedon is ANSYSisusedtO its modelofmicro—
piezoelectricpresented，and analyzeconfiguration．Thedynamic
actuatoris the characterofmicroactuatoris basedon
dynamic
presented，and analyzed
model．码e iscarriedoutfor movementcharacterofmicroactuator．
experiment testing
Keywords：tribology model
EEAOC：7230；2575
一种大行程高精度微执行器的研究
姜文锐+，卢泽生
(哈尔滨工业大学机电工程学院，哈尔滨150001)
摘 要：为了解决宏／微驱动系统中大行程和高精度之问的矛盾，研制了一种基于摩擦工作原理的压电陶瓷驱动的新型大行
程、高分辨率步进式微执行器，该微执行器的行程为300咖、位移分辨率为0．02肛提出了一种新型的基于压电陶瓷的柔性
四杆型可调预压装置。并进行有限元分析．建立了微执行器系统的动力学模型，基于Karnopp”粘滞一滑移”摩擦模型分析微执
行器力学特性．对微执行器的运动特性进行实验测试．
关键词：摩擦原理；压电陶瓷；大行程；高精度；微执行器；Karnopp模型
中图分类号：THl22 文献标识码：A
随着高科技的不断发展，高精度的微进给技术 理，巧妙地实现了大行程、高精度的要求．
已经成为MEMS领域的前沿科学，广泛应用于微细 本文从大范围连续高精度进给机构的研究着手，
加工、精密测试、精密定位及超精密加工等领域．从 介绍了一种新型的微执行器，它是采用摩擦驱动与尺
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