硅单晶生长系统的稳定性可靠性的研究.pdfVIP

硅单晶生长系统的稳定性可靠性研究 李留臣 薛抗美 (西安理工大学晶体生长设备研究所 西安 710048) 摘要：随着大规模集成电路和太阳能光伏电池业的飞速发展，对硅单晶系统的需求越来越迫切，对系统的稳定性可 靠性的要求越来越高，本文结合硅单晶系统的结构特点进行稳定性可靠性分析，供大家参考。 前言 硅单晶生长系统是在惰性气体环境中以石墨电阻加热器将硅半导体材料熔化，用直拉法生长无 位错硅单晶的设备。随着大规模集成电路和太阳能光伏电池业的飞速发展，大型硅单晶生长系统的 需求越来越迫切，由于硅单晶生长投入大、成本高、对晶体的内在质量要求严等，所以，对晶体生 长系统的稳定性可靠性的要求非常高，如何提高系统的稳定性可靠性，更好地满足大规模集成电路 和太阳能光伏电池业发展的要求，是硅单晶生长系统能否走向市场的关键。 基本结构组成 大型硅单晶生长系统的结构组成主要有机架、坩埚驱动部分、主炉室、翻版阀、副炉室、籽晶 旋转及提升部分、真空系统、充气系统、冷却水系统、液压驱动部分、加热功率部分、电器控制部 分、磁场电源部分等。丽对设备的稳定性可靠性影响虽大的是坩埚旋转及升降部分、籽晶旋转及提 升部分、真空部分、电器控制部分。 本文重点在籽晶旋转提升部分和真空部分这两方面进行分析。 耔晶旋转及提升部分 由于大型硅单晶生长系统用料量大(国际上已有熔料量达300kg的大晶炉)，生长晶体的质量要 求高，因此，必须有稳定的生长提拉机构，以保证生长工艺的要求。 传统的软轴卷扬提升机构在卷扬提升时会产生软轴钢丝绳的堆压或偏移(在保证软轴钢丝绳的 回转中心不便的情况下)，从而产生爬行、抖动及提升误差，影响单晶的生长，如图1所示。 目前，大型硅单晶生长系统的软轴卷 扬提升机构都是采用随动式卷杨提升机 构，与传统的软轴卷杨提升机构的区别是 随动式卷扬提升机构在卷扬提升时，伴随 有卷扬轮的水平跟踪移动，以便保讧￡软轴 钢丝绳的对中性。 随动式卷扬提升机构的结构原理如图 2所示。 主轴l利底板2为支撑平¨旋转部件， 主箱体3起支撑和密封作刚，旋转动力通 过减速机机构传递给传动轴11，带动卷杨轮旋转，实现软轴的提升。为了消除卷扬提升机构中软轴 钢丝绳的堆压或偏移，传动轴11设计为精密滚动花键副结构，在传递旋转动力的同时，义可以作相 1“ 对移动。卷扬轮6、牵引螺纹套8与传动轴1 匀花键套连接在一起。当精密滚动花键副带动卷 扬轮6旋转时，牵引螺纹套8也同时旋护 ，-牵引螺母9圃定不动，这样卷扬轮6就由牵引螺纹 套8带着一起移动。把牵引螺纹套酽。～糸距与卷扬轮的绳槽螺距设计为相等，这样就能保证在卷 415 扬轮旋转提升软轴钢丝绳时，伴随着卷扬轮的水平同步移动，克服了升软轴钢丝绳的堆压和偏移， 确保了软轴钢丝绳始终在调定的回转中心上。软轴钢丝绳的前后对中性由加1．精度保证，左右对中 性靠调整牵引螺母9来保证。阻尼套17主要对软轴钢丝绳进行扶持，减少震动的影响。另外，机构 内还设计有压紧轮(图中没有画出)，防止软轴钢丝绳松脱。