空穴注入型CuPc二氧化氮气体传感器的研究.pdfVIP

第 卷第 期增刊 仪 器 仪 表 学 报 年 月 +* * +(( 空穴注入型 二氧化氮气体传感器研究 !#$ 王 涛 蒋亚东 黄春华 电子科技大学光电信息学院 成都 % ’(()*+ 摘要 讨论了一种新型的基于空穴注入效应的电导型 薄膜二氧化氮气体传感器 其器件结构为 采用溅射工艺的 ,-./ 0 1 234 作下电极 真空蒸发 薄膜作为敏感功能层 上电极为 叉指电极 这种 传感器与传统的 % 6 + 0 0 : = = 254 754 ,-./ 89 ,-./ 8;4 ,-./8; 相比 电阻下降了 个数量级 同时讨论了该传感器的敏感特性 0 * : : 关键词 酞菁铜 氧化铟锡 空穴注入 敏感特性 !#$?@AB C@DEFGHIJ@FK@LHMNOPHIOFEQNOHLFIRFAHSITH$D@FI UV5W 3VX YZV5W[V\X5W ]-V5W,^-5^-V % 0 _‘abbcbdefgbhch‘gibjk‘ljdbimngkbj ojkphiqkgrbdsch‘gibjk‘_‘khj‘h 0 yz{{|}0 + njtuh‘ajbcbvrbdwakjn wahjvtx wakjn % + ~!ODEN$D 455X#;$Z5\ X%,-./%Z; 5Z’(XW5 \ZX)Z\ *4 ,,5,X(-V,\ X5 ^X;Z5./’ZX5 /V, + WV 0 = = = 1 % 1 1 + 234 ,-./8; 234 Z5\Z- \Z,/-,,\ 3^ ,5,X( ,’(-/’-( Z, 8;4 ’Z5X)Z\ %Z; 2(2V(\ -3 4, + 0 VW5’(X5(V/’Z#,2-’’(Z5W/V,-,\V,-5\(,Z\;/’(X\ ,-./%Z; 2(2V(\-3#V/-- #V2X(V’ZX5/V, 0