石英晶体表面溅射TiN薄膜实现生物传感地研究.pdfVIP

第22卷第4期增刊 仪器仪表学报 石英晶体表面溅射TiN薄膜实现生物传感的研究 赵龙章1 梁荣庆2 1(扬州大学扬州225009) 离特性。 关甓词磁控溅射石英晶体频率偏离 ONBiosensorRealized ThinFilmTiNon Study byMagnetron Sputtering Crystal Zhao Longzhan91Liang 2(Yangzhou 。(InstitutePlasma of P时sits，ChineseofSciences，Hefei Academy AbstractAmethodto thinfilm on TiN was forwardedinthisar— get bymagnetronsputteringquartzcrystalput TiN tiele．Performancesofthinfilm andits deviationfeatureasabiosensorwerestudied． frequency words Quartzcrystal deviation Key Magnetronsputtering Frequency 控制溅射系统真空室内氮的浓度，表面粗糙度R． 引 言 随着氮气分压强的增大而增大，如图1所示。 2．2显微硬度 利用生物功能分子的特异选择性，结合石英晶体 的频率偏离与液体的粘度、导电性等因素相关的特性 制成生物传感器，近年来得到了迅速发展。现行的石英 的硬度明显降低，如图2所示。 晶体谐振器一般采用清洗后在液体中反应，凉干后在 空气中测量的方法。由于它不能反应生化反应的动态 过程，且操作过程对测量结果影响大而限制了它的应 用范围。运用直流磁控溅射技术，以石英晶体表面作为 衬底沉积TiN薄膜。已实现显微硬度18520N／mm2，蜘 刻临界负载60N。实测溅射TiN薄膜镀层的电阻率仅 为68×10“0·cm，这使得TiN薄膜同样实现了电极 的引出作用。 2 TiN薄膜的机械特性与微观分析 强丹±E强Pa 基片抛光后用酒精溶液超声清洗，选钛扳作为阴 靶。沉积前预溅射l0IIIin清洗靶面．再以高频电压 图2TiN薄膜表面硬度随氮分压强的关系 100V清洗基片15rain。 2．3划刻试验 2．1衰面粗植度 仪 器 仪 表 学 报 第 卷 )$#