单温区碲镉汞液相外延技术地研究.pdfVIP

单温区碲镉汞液相外延技术的研究 周立庆刘兴新王金义量瑞清王迎胡增辉 10001 (华北光电技术研究所 北京 5) 摘要：采用单温区碲化汞补偿液相外延法，通过液相外延舟的设计，温度参数和氢气流量的选 择，在碲锌镉衬底上成功外延出碲镉汞液相外延膜．液相外延膜的组份均匀性、表面形貌、x光形 貌和电性能参数均较好． 关键词：碲镉汞薄膜液相外延外延母液单温区双温区 1引言 红外焦平面探测器技术的发展对碲镉汞薄膜材料有着越来越高的要求，人面积、组份均匀性 好、表面形貌好、电学性能好的碲镐汞薄膜材料是新一代焦平面器件f艺的基_i。碲镉汞薄膜材料 的生长有液相外延法、分子束法、金属有机化合物气相沉积法等方法，其中液相外延法已被世界上 在红外技术方面领先的国家工业化应用，比如法国SOFRADI公司的碲镉汞红外焦平面器件就是采_L}j 的该公司先进的液相外延技术生产的碲镉汞薄膜材料…。 “九五”期间我们已成功开发出双温区碲镉汞液相外延技术”。，为红外焦平面器什1．艺提供了 人譬的碲镉汞薄膜材料。由于“十五”红外焦平面器件技