飞秒激光相干场诱导材料功能微结构分析.pdfVIP

维普资讯 前沿进展 飞秒激光相干场诱导材料功能微结构 赵全忠 邱建荣 (中国科学院 海光学精密机械研究所光子技术国际合作实验室 上海 201800) 摘 要 飞秒激光在整个脉冲宽度 内具有极好的相干性 ，因而当从 同一光束分 出的两束或两束 以上 的光束时间 与空间上实现相互叠加时将会形成强度周期性调制的 电磁场．这种周期调制 的电磁场与材料产生相互作用 ，能诱 导出相应的周期微结构．最近通过两束或两束 以上飞秒激光干涉诱导功能微结构得到了广泛研 究．文章综合 了国 内外飞秒激光研究小组在干涉诱导微结构方面的一些最新成果 以及作者在这方面开展的工作 ，对飞秒激光干涉技 术的原理及其在诱导微结构方面的应用进行了介绍． 关键词 飞秒激光 ，干涉 ，功能微结构 Femtosecond laserinduced functionalmicrostructures ZHAOQuan—Zhong QIUJian—Rong (PhotonCr妒 ProjectLaboratory，ShanghaiInstituteofoPticsandFineMechanics，ChineseAcademyofSciences，Shanghai 2O1800，China) Abstract Femtosecond(fs)laserpulseshavegoodcoherenceoverthewholepulseduration．Aoeriodically modulatedlightintensitydistributioncanbegeneratedwhentwoormorebeamssplitfrom onebeam overlapwith each other．A periodicallymodulatedmicrostructurecan thusbeobtainedifthemodulatedlightintensitydistri— butionistransferredtoaphotoreactivemateria1．Thishasrecentlybeen extensivelyinvestigatedforthefabrica— tion offunctionalmicrostructuresbyfslaserinterferenceoftwoormorebeams．Wepresentsortiestate—of—the—art fslaserinterferenceinducedfunctionalmicrostructuresand someofourresearch results．Theprincipleoffsla— serinterferenceand someapplicationsarealsodiscussed。 Keywords femtosecond laser，interference，functionalmicrostructure 直接在材料上诱 导微结构．此外 ，利用飞秒激光与透 1 引言 明材料相互作用的非线性光学效应，将 干涉的飞秒 激光聚焦到材料 内部 ，还可 以在材料 内部诱导周期 众所周知 ，干涉、衍射与偏振是波动光学的三大 微结构．在本文 中，我们将介绍一种极端情况下的干 主题．自托马斯 ·杨 (ThomasYang)的双缝干涉实验 涉现象——飞秒激光干涉 ，以及飞秒激光干涉技术 以来 ，干涉现象得到 了广泛的应用．近年来 ，激光干 在诱导周期微结构方面的应用． 涉光刻技术由于能产生亚微米至纳米尺寸的周期性