基于电子散斑干涉技术的直线度误差测量方法分析.pdfVIP

激《光杂慧麟 雾丢 涉技术5 鑫i ．№．3．加。2) 29 基于电子散斑干涉技术 的直线度误差测量方法 陈 桢，宋 伟 (燕山大学理学院，河北 秦皇岛 066O04) 提要：将散斑干涉与CCD图像处理技术相结合，提出了一种测量空间直线度误差的新方法，该方法利用待测工件的直线度误差使毛玻璃移动 微小位移，通过散斑条纹的变化求出位移变动量。由导出的直线度误差与位移的关系，对工件的直线度误差进行了测量，测量结果为 7．402ttm。 实验结果表明，此种方法测量精确度高，具有一定的使用价值。 关键词：直线度误差；测量；电子散斑干涉技术 中图分类号：TG83；TH74 文献标识码 ：A 文章编号：0253—2743(2012)03—0029—02 MethodofmeasuringalignmenterrorbasedonESPI CHENZhen。SONGWej (Collegeofscience。YnashanUniversity，Qinhu衄． a0，HebeiO66004。China) Ahstmct：WitIlthecombinationofhtespeckleinterferometryandhteCCD image—processingtechnique。ane％vmethodispresentedtomeasurehtespatial alignmenterror．A micro—displacementofthefrostedglasscausedbytestworkpieeealignmenten-oriscalculatedbye~sideringspecklefringepattern change． TherelationbetweenhtealignmenterrorandhtedisplacementiseducednadusedtoⅡ坦lrehteobjcet’salignmentelTor．Theresultis7．42pro．Experiments showhtenewmehtodhashighaccuracynadsomevaluesinpractice． Keywords：alignmenterror；measureme nt；KSPI 直线度误差是指待测工件实际存在的直线对其理想直 )]为调制因子。(2)式中的第一项的平方表示当衍射效 线的变动量。它是精密轴类机械零部件加工过程中一项最 应忽略时，照明光源在透镜焦点处很小的像，第二项就是杨 重要也是最基本的检测项 目之一，比如对 电梯导轨顶面直线 氏干涉项，其模平方即光强分布为： 度的测量、工件表面直线度误差的评定等。 ，1=l R(，叩)II1+exp(j2rr~·』l， )I 由于散斑干涉测量微小位移具有精度高、灵敏度高、实 时迅速、简便等优点，已经在光学检测领域得到了广泛的应 用uI3J。本文提出利用电子散斑干涉技术及计算机控制的 CCD获取物体位移前后的散斑场来实现直线度误差的测量。 1 面内位移测量原理 面内位移的测量是散斑测量中较为常用的一种，图 1为 散斑照相的一般光路 ，用激光照射表面粗糙的毛玻璃 ，由于 其表面漫散射，将产生许多随机分布的亮暗散斑 ，用连接于 计算机图像采集卡上的CCD对其进行位移前后的散斑图的 接收。对于物体(毛玻璃)上 的每一个散射点都有一对散斑 · 图2 测量装置及光路 图 对与之对应，又因为物体是作微小移动 ，所以任一散斑对都 由上式可知杨氏干涉条纹对应的光程差 △：膳 ·^ ： 可以看成是衍射双孔 ，当用激光照射散斑对时，就会产生杨 XMUx／f，两边求微分得 a△=MUegX／f。如果 a△= ，那么 氏干涉条纹，通过测量散斑干涉条纹的间隔就可以计算出物 DX= ，d0是干涉条纹的间距，