柔性精密定位系统地研究.pdfVIP

2000 2000年第14卷专刊 华北工学院■试技术学报 Vol14Mono TECHNOLOGYOFNCIT TESTANDMEASUREMENT OF JOUNAL 宣明 陈斌 刘智 (长春光学精密机械研究所 长春130022) 擅蔓。描述了一个应用于光刻工艺的精密定位系统的总体组成，对其光一机一电一体化的 设计思想、系统硬件实现及提高系统柔性而设置的功能等均作了详细论述。 关t词-柔性t精密定位：智能仪器 0引言 随着科学技术的发展和社会经济的进步，人们对机械制造、加工技术提出了新的 更高的要求．柔性精密加工系统受到人们的重视。在现代光刻工艺中，高精度定位是 该项技术的关键，因此研制高精度、智能化的精密定位系统是光刻工艺中急待解决的 课题。 本文描述了一个应用于光刻工艺的精密定位系统的总体组成。对其光一机一电一体化的 设计思想，系统硬件实现以及为提高系统柔性而设置的软件功能以及误差分析等均作了较为详 细的论述。该系统综合运用了自动控制、计算机、精密检测、伺服驱动与精密机械等多种技术， 达到了设计指标要求，取得了令人满意的测试结果。系统中采用光电式传感器作为位置检测元 件，步进电机作为伺服驱动元件构成了闭环伺服控制系统，由于采用电子学细分技术使系统达 到更高的精度。同时在系统设计中硬件、软件均采用模块化结构使系统具有更好的开放性和可 移植性。 1柔性精密定位系统总体设计 激光的方向性好、能量集中，如再利用聚焦装置使光斑尺寸进一步缩小，可以获得很高的 功率密度，足阻使光斑范围内的材抖在短时间内达至嗡耕谳化温度。因此柔性精密定位系统 可广泛地应用于激光加工工艺。本文所及内容是“准分子激光光刻工艺”所及关键问题。柔 性精密定位系统是一种涉及光学、精密机械、电子学自动控制和计算机多种学科领域的高科技 产品。柔性精密定位系统由三大部分组成：由标尺光栅、指示光栅、光栅读数头及以单 片微型计算机为核心的莫尔条纹信号处理、显示等单元构成的光栅微位移检测系统： (1)以步进电机作为扎行单元，以微控制器作控制中枢所构成的闭环伺服控 制系统； (2)以底座、滑台、千J，动、导轨等组成的精密工作台机械系统。 系统的总体结构布局如图一‘所示： 1．1光疆位咎硷—子系统 在精密定位系统中位移传感器门选择至关重要。电感式传感器精度高、线性度优良、 +收稿日期：2000-03．23 2000年6月 柔性精度定位系统的研究——二!!L 互丽好但不适用于高频动态信号检测且测量范围小；电容式传感器测量范用人、灵 m)c 敏度高．但其寄生电容大、精度差。由于课题需要较高的系统定位精度(】u 图l系统总体框图 我们选择光栅传感器作为位置检测元件。 在光栅位移检测子系统中，为了获得满意的测量精度，采用了高倍莫尔条纹细分 技术，由于在光栅莫尔条纹细分中采用了一系列的误差补偿措施，使检洲系统达到了 设计精度。 1．2闭环伺服控制子系境 为了实现柔性精密定位的要求，必须设计一智能化位置闭环伺服控制子系统。该 子系统实时接受上位机“位置指令”并按其要求精密定位。因此该子系统即受令]：上 位机又能实时检测来自光栅位置检测子系统的位置信息从而柔性地、智能化地执行伺 服控 单 片