微小尺寸检测图象处理系统地研究.pdfVIP

电子测量与仪器学报2002年增刊 ，http：／／m．emoage．com 微小尺寸检测图象处理系统的研究 郑志红戴曙光穆平安 上海理工大学 摘 要：本文提出，用图象处理与分析的方法．对微小尺寸进行测量，阐明了用该方法的基本 原理。同时提出了使用该方法的硬件组成．软件流程，并论证了使用该方法的高效．准确，实用 的优点。 关键词：微小尺寸 检测 图像处理 、o ResearchonI Processi ofMi ere—Di i on mage ng mensI_easurement Dai Mu ZhenRzhihong shuguangpingan Abstract：This anewmethodof for thedimension— presents paper imageanalysis measuring demonstratedthe the and forthe systemprinciple，clarifiescomponentsprogramsmeasurement ltis thatthis and system isefficient．accurate proved system practical． Keywerds：Micro·dimension，measurement，imageprocessing． 引言 随着微电、机械等各个行业的进一步发展，对于微小尺寸零件检测的精度要求 也越来越高。而传统的检测方法是采用]=具显微镜进行人工读数，这种测量效率 低F、准确率低、人为误差大、已不能适应目前工艺要求。因此，本文提出了一种 利用图象处理的新方法，对微小尺寸的零件进行测量。利用显微摄像系统采集到微 小零件的数字图像，并利用图像处理的方法。对其进行分析、测量，从而得出所需 的检测结果。 系统的工作原理 、 系统的工作原理如下 1．图像采集 利用工具显微镜将被测的微小零件进行放大，将其转化为数字图像并存储，以 供处理和分析。 2、图象处理与分析 系统以数字图象处理为核心，通过对采集到微小工件图象进行二值化，膨胀， 腐蚀等处理，得到较为理想的二值化图象，并在此基础上进行检测和数据分析。 一190． 一 2．1、图象二值化： 对于微小尺寸工件的测量，就是要检测其长度，圆直径等，在对其进行测量分 析之前，必须对图象进行予处理。以将其从无关紧要的背景中分离出来。在图象二 值化过程中阀值的选取是非常重要的。如果选择的不合适，则可能将物体上的点归 结为背景，或将背景上的点归结为物体。图象的二值化由“阀值选取”和“二值 化”两步完成。 2．1．1、阀值选取 目前，国内外学者已提出了多种阀值选取方法，如最大类间方差法，最小误差 法，一维最大熵法和二维最大熵法。选择这几种方法进行实验，比较运算时间，阀 值偏差等质量指标，确定使用最小误差法。 2．1．2、二值化 二值化过程如下： ，、，…10,0≤G(i，j)T 一… ll，T≤G(i，j)≤255 的灰度集；T为二值化阈值(0≤T≤255))，经过二值化的微小尺寸工件图像变 成灰度值