有机敏感材料梳状电极电容SO-%2c2-传感器地研究.pdfVIP

第15巷第4期 郑州轻工业学院学报(自然科学版) V01．15No．4 0FZHENGZHOUINSTITUTEOFLIGHTINDUSTRY(NsturdS画ence) Dec．2000 2000年12月 IOURN^L 文章■号；1004—1478(2000)04～0024—03 ·气体传感嚣研究· 有机敏感材料梳状电极电容S0z传感器研究 李丽， 王道， 刘显武 (北京Z．-业大学环境与能蔫工程学院，北京100022) 摘要：利用SO。能与有机袖中的某些基团形成可逆的弱加和糖、改变电介质的介电常敷、使电 客发生变化的特点，制鲁出新型SO：气体传意嚣．这种传感嚣对SO：的更教度和选择性较高， 具有良好的再现性和稳定性，响应时间较短，具有广连的应用前景． 关t词；特意器}二氧化硫；气教器件}有机敏感材料；梳状电极电容 中圈分类号：T212；0614 文献标识码：A 0引言 60年代，Flood等人首先使用高温原电池技术测定sO：浓度．在此基础上，经过七八十年代的研究，现在 用气体电极作参比电撮，使用固态电解质的高温原电弛测定空气中SO。浓度的方法，巳用于实际工作中．但 其操作复杂，条件苛刻，工作温度高，难以普及．测量大气中SO：古量的另一种方法是利用UV和IR光谱技 术，该方法虽然测量结果准确，但仪器运行维护费用高，难以进行实时原位的测量．近年来，利用SO：能与有 机韵中的某些基团形成可逆的弱加和物、改变电介质的介电常散、使电容发生变化的特点，制备出的新型 SO，气体传感嚣已引起广泛的关注． 1梳状电极电容SO：化学传感器的基本原理 此类传感嚣是一种气t介质薄膜传感器，由对SO：敏感的薄膜电容器和一个信号处理回路组成．其传 寤原理建立在麓吸收的SO，分子与敏感膜之间相互作用的基础上，当其暴露于气体中时，偶极阃的相互作 用影响电介性质，继而导致薄膜型梳状电极电容(IDc)的电容变化．这样，So：的浓度变化可以通过测量电 容值来确定．电容嚣传感器信号的檄小变化是由敏感膜上的SOz的吸附表现出来的；这一变化对于干扰极 为t感，与通常形式的标准输出信号又不相对应，不适于传递和进一步加工，需将电容传感器信号转化成更 适于测量和传输的电信号如电压，这一过程可通过适当的信号调节来完成． 2梳状电极电容的结构和制备 IDC是化学传感器重要的基本元件，它同时适用于导电率和电容的改变值的测定，可对不同的涂疆技术 (蠢射，白旋涂覆，喷射等)覆载的致密、多孔的敏感物作出评估，且制备价格低廉，因此已在气体传感嚣上成 功地应用． 在中国科学院徽电子中心进行光刻制版后，在经过氧化的硅片上可制备成如图1所示的IDC．在此基 Fm，长度为1200pm，厚度为 质上，再以惯用的薄膜技术制戚梳状金属电极电容器．每个电极的宽度为15 1．6pm，极与授之间的间隙为15岬．一个元件包含900对电撮．其后将硅片经包封焊技术置于印制电路板 收IB期：2000—07一lo 嚣喜看异：霉喜矗品擎翌芽耋暑高才臻jj：?器桀三业尢学环境与拖潭：程学簏在读厦士研宽生．主要从事污簟拉一技 术研究． 第4期 孛i，辱：有机t冉j时抖抗抗电t电容SO,传■l研先 ·25· 上，茸出测量用接点． 这种IDC结构覆盖各种不同的敏 感材料，可以用来探测不同的化学物质， 其导电性或介电常数会随被测物质浓度 的改变而改变．对于有一气墩覆盖薄层 皿¨ 的气体传意嚣，因其功能是建立在表面 圈1 IDC的基奉蛄构 效应上的，可以将平面IDC作为基本结 构加以使用；而对于沸石之类多孔的敏感物，3维IDC就比平面IDC具有更高的灵t度． 为了确定量佳的IDC结构，以前的研究者建立了许多模型．在计算程序中，电极的竟、高，电板间距以及 有效电容嚣的表面积都是变化的，最终确定对于任何IDC结构，当电极竟和电极间距的比值为1·l时量为 理想．整个IDC表面