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电力半导体器件表面保护材料接触带电的研究
张少云 一赵长毅 徐传骧
(西安交通丈拳,710049,西安)
摘要通过使用表面电位法,定性地测蟹各种有机保护材料之间以及它们与P型和n型半导
体接触后的表面电荷极性,从而得出一个包禽半导体在内的接触带电序列。通过进一步的实
验解释了P型和Ti型半导体在序列中的位置。
关键词电力电子半导体有机材料接触带电
O绪言
在台面型器件的衷面保护中发现,有些保护材料在半导体器件表面呈正电荷效应,而另
一些呈负电荷效应。保护材料所呈现的不同的电荷效应使器件表面p-n结空间电荷区和结的
特性以及表面电场发生不同的变化,从而影响器件的耐压和漏电流[Sl。
通过使用表面电位法,测量各种有机保护材料之间以及它们与P型和n型半导体接触后
的表面电荷极性,从而得出一个包含半导体在内的接触带电序列,并进一步搞清了决定p型
和n型半导体在序列中的位置的关键因素。更深入地研究电介质一半导体界丽上带电机理.为
电力电子器件表面电荷和电场控制、开拓新型表面保护材料具有实际意义,因此我们对此进
行了实验研究和分析。
l实验方法
1.1实验设备
如前面所述.本次实验的主要目的是将常用电力电子有机保护材料(包括半导体)相互
接触或轻微摩擦后,按照各种材料的带电极性将这些材料排列成一个带电序列.园此.本次
实验还未精确地定量各种材料的表面电荷量.实际上,对电荷表面电荷量的耪确定量需要严
格控制环境温度、湿度、接触压力、接触时间、材料的表面状态及许多其它因素。即便严格
地控制以上各种因素,定量实验的重复性也不能令人满意。基于以上考虑,本次实验主要是
在室温(10℃左右),干燥环境大气条件(湿度不超过40%)下进行。实验采用SD.8303表
面电位计的正负偏转来定性地描述接触后材料表面的带电电荷的极性。
试样的表面电荷面密度与表面电位的关系见下:式”:
赡=旦 (式1-1)
£D£‘
以:试样的表面电位; a。:试样的电荷面密度; J:试样厚度:
£。:真空介电常数: £,:试样材料的相对介电常数
从式1-1可知,试样的表面电荷面密度与其表面电位极性相同,而且二者成正比.在本
次实验中重点是测定电荷的极性,因此只需要考虑表面电位的极性。
l 2实验方法
将SP(聚酯改性硅漆)、热固化有机硅凝胶、光固化有机硅凝胶、硅橡胶GD406、408
和硅橡胶703等材料,按其各自的固化工艺固化在直径为78mm的玻璃园片上,制成试样。
将两种材料的试样接触在一起,在2.5坶的重物佰用5分钟后,将两个试样分离,使用sD.8303
表面电位计确定其带电电荷的极性,从而确定愿两种材料的带电顺序。使用同一材料的另一
试样来重复实验。将各种材料的试洋两两逆行以上实验,从而确定这几种材料的实验带电序
列。
2实验结果及分析
2 l 常用电力电子有机保护材料的接触带电序列
菝照实验方法测得的数据见表1。根据表1将目前在电力电子行业常用的几种有机保护
托、#;列成一个接触带电序列,如表2所示。正这个接触带电序列甲的在何两种材辩,在接
越或轻微摩擦后.靠近正端的材辩将带一定数量的正电荷,靠近负端的材料埒带一定数量的
灵电荷。
表1接触带电的测量数据
表面电位 测量试样
703
jV) SP 热固化硅凝 光固化硅凝 406 408
胶 胶
SP .60 .24 —38 —25
热圈化硅凝 十I: 一3l 。16 ‘11
●
胶
光固化硅凝 +122 .1l
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