低损耗、1千1百兆赫兹声表面横波谐振器的研究和应用.pdfVIP

低损耗、1千1百兆赫兹声表面横波谐振器 的研究及应用 周 卫 (四川压电与卢光技术研究所，重庆，400060) and TheResearch ofSurface Application7切nsverse肋ve Resonatorwith LowInsert-loss，1HZ， Giga ．． WeiZhou ． of and InstitutePiezoelectric Sichuan (The Acoustooptic 。 j ，一 一， 。 1．前言 ．．．． SH剪切波在石英基片上的传播，常见的有与基片表面成一定角度传播的掠面体波 bulk surfacebulk acoustic (skimming wave，简称SSBW；或称浅体声波。shallowwave，简称 SBAW)和用金属栅条产生一个使渗透入基片内的波减弱的功能．从而使波速度减慢．并使 transverse 波沿基片表面传波从而形成表面横波(surface wave．即STW)形式，这两种形式在石 英基片上的传播也是十分复杂的。并且不易区别。由丁．SSBW并不是沿着表面传播的．而是与 表面成一定角度并渗透入基片内传橘的，从而产生辐射，导致损耗增加，因而不能制作高Q 种周期金属栅波导，成功地获得了接近表面传播，在金属栅条．卜．传播损耗很小的表面横波 (STW)．并成功地制作出了高Q值剪切波谐振器。特别是近几年世界范围内对这类器件的 研究方兴朱艾．不断有报导对STW谐振器的最新研究和最新理论．STW谐振器为何引起人们 如此大的必趣．原冈就在丁．STW谐振器比SAW器件具有优越性。STW器仲比常规的SAW 器件有两人优点，一方面是STW器件速度比SAW器件提高1．6倍，即在同样的．．1：艺条件下。STW 器件频率比SAW器件高1．6倍。另一方面STW器件能承受高的RF功率，而且不明显地改变 其频率特性或性能明显衰变，在其它方面，STW器件独特的特性，用SAW器件是不可能实现的。 这些特性是金属化允许谐振Q及群延时在较广‘的范围内变化并不明显地增加插损。这些特性 使STW谐振器不但具有很高承受RF功率的能力，而且在设计具有很低噪声基底的圃定频率 振荡器及调整范围宽的振荡器方面具有很人的灵活性。而且STW器件没有SAW那样存在高 阶横模。本文介绍了在旋转Y切彳i英STW沽振器器件的设计，弗