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GaAs／AIGaAs量子阱空间差分光调制反射光谱研究
赵明山“’代作晓…李国华…王若桢“’
(1)曲阜师范大学激光研究所，山东273165
(2)北京师范大学物理系，北京100875
wells
differential ofGaAs／A1GaAs
spectroscopy quantum
Space photoreflectance
Zhao Zuoxiao(1)Li Ruozhen(2)
Guohua(’)Wang
Mingshan(1)Dai
273165
Normal 100875
University，Beijing
(2)PhysicsDepartment,Beijing
光调制反射光谱(PR谱)是调制光谱的重要形式之一．由于其技术简单、分辨率高，且属非接
触式无损测量，近十年来在半导体材料，特别是在半导体微结构(包括量子阱、超晶格)的研究中发
挥了重要作用‘。31．该光谱通过测量周期性斩波的泵浦激光(调制激光)引起的样品反射率的相对变
化量(AR／R)随探测光波长变化的光谱特性，来获得有关样品电子态结构参数及光学特性等方面的丰
富信息．其光谱机理源于光注入载流子对样品表面电场的调制．
differential
本文报道另一种形式的光调制反射光谱一空间差分光调制反射光谱(space
photorcfleetance
光束周期性交替入射到样品表面激光照射区和非照射区，测量该两相邻区域样品反射率的相对变化量
AR／R的光谱特性．其光谱机理源于光激发载流子引起的样品表面电场的空间非均匀性，即光激发载流
子引起的样品表面电场空同变化导致了样品反射率的空间相对变化AR／R．因此，该光谱与常规PR光
谱一样，同属于电场调制机制．
的车富的光谱结构，且由于避免了常规PR谱中必须加置消除泵浦激光影响的滤色片，而使光谱测量
范围受到一定限制的困难，该光港具有更好的信曝比和灵敏度，因此，更具实用性．
9 SDPR谱实验装置与常规PR谱”’类似，不同之处在于SDPR谱实验装置省去了用于调镧泵浦激光
柬的斩光器和探测器前用于滤除泵浦激光影响的滤色片，利用固定于电磁振子上的反射镜系统，使近
正入射探测光柬沿垂直于样品表面法线方向周期性平行振动，以实现探测光束周期性交替入射在样品
卜 表面激光照射区和非照射区．反射光柬原路返回后经分光系统和透镜会聚到探测器。以保证探测光到
● 达探测器光敏面同一固定点．人射到样品表面的探测光斑大小约为2x0．2ram2，振动间距约为0．2ram
峰位及线型一致，这是由于两光谱均是电场调制机制所致，理论预期与实验结果一致．(2)SDPR
谱较之PR谱具有更好的信噪比，这是因为此时没有交流调制激光散射背景的干扰．因此SDPR谱在
低能(1．4—1．55eV)弱信号区能给出较之PR谱更清晰的光谱结构．
谱结构则分别对应于四个量子阱内的
量子化子能级间的跃迁．采用
Kronig-Penny模型，我们可以计算样
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