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用于微型燃料电池的多孔硅可控制备技术的研究 郑丹‘1田娟3张熙贵’夏保佳1 00050， (1．上海应用技术学院200233，2中国科学院上海徽系统与信息技术研究所2 3．哈尔滨工程大学150001) 多孔硅(poroussntcon，PS)材料出于具有高效率的发光特性被认为有着巨大蚋应用前景而被广 泛研究“1。近几年来随着微型质子交换膜燃料电池(pPEMFC)的发展，Ps的一个新的应用领域展现在人 们面前，即可作为VFBMFC功能结构材料，如作为扩散层、僵化层、质子交抉层及重整器等。扩散层是燃 料电池膜电极的重要组成部分，其作用在于支撑催化层，增大催化荆有效利用面积，并为电化学反应提 供气体(或液体)通道和排水通道。以Ps代替碳布作为扩散层是实现燃料电池微型化的有效逢径之一。 制备Ps的方法有多种，目前，电化学腐蚀方法是其中比较常用的一种，即把硅片置于HF溶液中通以电 流进行阳极氧化，所得到Ps的微观结构不仅与硅片本身的掺杂类型及浓度有关，而且与电解液中HF的浓 度、电流密度等因素密切相关．在电化学腐蚀法制备Ps的过程中，可以通过控刺温度、腐蚀液的配比、 腐蚀电流密度、腐蚀时间等条件，以形成性能优异、可满足各种结构和规模化生产需要的Ps。本文选择 化弈J后，在0．5MHzSO．溶液中进行7循环伏安测试． 出，在相同电流密度下，随着HF浓度增加，Ps的孔隙率减小，这是由于当电解液中HF浓度较高时，在 本体si表面上有较多曲s卜F键，使本体Si与电解液界面处的势垒又高又宽，这样，同样条件下特有较 少的其它F’到达表面硅原予处参与蚀刻本体Si；面当HF浓度较低时，该势垒较低且窄，F的运动几乎感受 不到这个势垒的影响，到达硅原子处的F一明显增多“1，使硅的腐蚀加剧。 D … i} ，0 ，， ●● ■_ 0 c……n●…m^J●m。) a·“t“…·“日、 固1不同HF斑度时Ps孔隙率随电流密度的变化 圈2、不同电流密度下的孔隙率 ofPSwith vary current ofPSatlOminanddifferent Fig．1Porosity density Porosity ClllTent Fig．2 density at HF di饪brentconcen奸anon 电流密度的大小对PS的形成有较大的影响。为进一步了解孔隙率随电流密度的变化规律，在氧化时 间为1 Ps的孔隙率不断增加，这是由于电流密度较大时，溶液中F-有较大的能量，因此到达表面的F数量多，Si 与F-形成四氟化硅，而使si更容易被剥离掉．虽然80mA／cm 2时Ps的孔隙率已经达到近40％，但是在后处 理清洗阶段发现有硅屑掉出，这可能是由于高电流密度下10min的腐蚀时问过长使许多孔壁贯穿，使已 形成的Ps从硅基片上脱落，故Ps的强度不够。 孔隙率和孔深均增加迅速，此后，增加幅度略微变缓，这是由于硅的溶解过程主要发生在孔的尖端，当 孔达到一定深度后，在孔尖端处F浓度降低，硅的阳极过程会受到F一的扩散控制，加之孔深处可能积累 一部分H：，减少了固液界面，极化增加，电流效率降低，从而导致腐蚀速率变慢，孔隙率及孔漾的增加 作者简介：郑丹(1 966)，女，工学硕士，在读博士生，副教授，硬导，从事微型燃料电池及其材料的物理 与化学方面的研究国家863资助疆目(2003AA404120) 652 2BP-018 50， 幅度减小。可见氧化时阐的延长