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174 中国感光学会第七次全国会员代表火会暨学术年会和第七届青年学术交流会论文摘要集
一种新型193
nm正型光致抗蚀剂研究
王力元，郭昕，褚战星
(北京师范大学化学学院，北京100875)
1简介
由二乙烯基醚化合物与成膜树脂、光产酸剂等组成的正型光致抗蚀剂已有一些报道
【1．3】，这些二乙烯基醚化合物包括芳香的和脂肪的二乙烯基醚，成膜树脂包括酚醛树脂和含
羧基的甲基丙烯酸酯及其衍生物的共聚物，其成像原理如下：
。
I I
+
删厂f1 CH2=CH．O．R．O．CH=CH2
l n
仁 一日COOR
。
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I n
卜 旷融COOR
II
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酚羟基或羧基和烯基在适当加热条件下发生醚化或酯醚化反应，成为部分交联的碱不溶性
结构。在光产酸剂光照所产酸的作用下，发生酸分解反应，光照部分成为碱可溶，通过稀
碱水显影可得正像。对于193nm光致抗蚀齐lJ，为了获得在193nm处良好的透明性，体系
中不能包含苯环，因而较多采用甲基丙烯酸酯及其衍生物的共聚物等!；_l卜芳香聚合物。此时，
为了提高对等离子蚀刻的抗蚀性，必须提高聚合物体系中的脂环含量，这增火了合成的难
度。
在本文中，我们选择并合成了丙烯海松酸和儿种二乙基醚化合物，组成了一种新型的正
型光致抗蚀剂。丙烯海松酸是丙烯酸和松香酸的Diels—Alder反应产物，其合成【4】及结构如
下：
中国感光学会第七次全国会员代表大会暨学术年会和第七届青年学术交流会论文摘要集 175
CoOH coOH
COOH
枞酸 海松酸 丙烯海松酸
这种二酸化合物由于其多元脂环结构，虽然是小分子， 但有很好的成膜性，同时膜层具有
高的对等离子蚀刻的抗蚀性。
J乙种二乙基醚化合物的结构和合成方法15l如下：
OH
2．CICH2一CH20CH=CH2
COOH
1．NaOH
I —————————-—--—··-—ll
f00佣2c心删《也
COOH 2。CICH2-CH20CH=CH2
COOCH2-CH20CH=CH2
2实验
丙烯海松酸的制备按文献【41的方法进行，产物为二个异构体的混合物。酚类的醚化【5】较
易进行，产率较高(85％以上)。二酸的酯醚化文献报道很少，
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