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利用极化子荧光的断层扫描对光波导 及光集成元件特征研究 张 耘 (西南师范大学物理学院 重庆400715) 摘要：钛扩散铌酸锂光波导是集成光学中应用最广泛的波导之一。在波导制 造的热扩散过程中，可能破坏波导物质表面的还原程度均匀性，需要进行控制。我 们的研究表明，利用非损伤性的极化子荧光谱，对加工过程热处理进行检控是非常 有效的。 关键词：钛扩散铌酸锂光波导极化子荧光谱还原程度 铌酸锂(LiNbO，，LN)中进行钛扩散是获得通讯波段的TE和TM单模光导的首选方式 LN为基底进行 之一。钛扩散铌酸锂光波导通常是以提拉法(Czochralski)生长的congruent 制造的。congruentLN是指晶体和其溶融液态具有相同的阳离子比(48．38m01％Li：0+ 51．62m01％Nb：0；)。在波导制造的热扩散过程中，可能破坏波导物质表面的还原程度均匀 性。基于光波导的光电集成元件的光学性能在很大的程度上受波导的非均匀性的影响。对 Mach—Zehnder调制器的研究表明，元件的电飘移行为与其还原程度有着相当的联系，其原 因很可能是波导及其相邻区域存在电导梯度，而此前仍未有可靠的、非损伤性、快速的方式 对此还原程度进行测试和控制。 铌酸锂晶体通常是处于化学组成比不平衡状态(即[Li]／[Nb]1)。学界提出了 Abrahamsand 异位铌离子占约6％。在此两种学界最常采用的模型中，纯和微掺杂congruent铌酸锂中含有 较多的异位铌离子。 我们知道，异位铌离子Nb。j5+能够俘获一个电子，成为Nbu4+，称为小极化子(Small polaron)。两个相邻的异位铌离子和本位铌离子Nb“5+一Nb№5+俘获两个电子成为双极化子 火的晶体中，其还原程度较初生长的晶体显著增加。在纯铌酸锂中，双极化子是可见光、近 红外吸收的原因∞J，同时也是电导的主要原因。在所有铌酸锂晶体(除非常接近 荧光㈨]。 我们利用共聚焦的微拉曼谱仪，对钛扩散铌酸锂光波导样品进行扫描，获得各点的极化 子荧光谱。扫描的空间精度低于微米，单个点用时2s。图1是一个点的极化子荧光谱，比 拉曼谱更强烈。对比图线b是近stoichiometry铌酸锂的谱线，其荧光部分几乎观察不到。这 里荧光的强度反映了极化子浓度。同时，荧光的强度也取决于样品的化学还原程度。图2显 ·549· ，J==对波导及其相邻区域从难从表面到内部的扫描结果，其中纵坐标为荧光谱波峰强度。图·l， 荧光谱波峰强度从内部到表面不断增强，显示了铌酸锂基底的非均匀还原程度断面。在同一 深度，波导及其相邻区域的荧光强度出现不同值。此反差是由于热处理过程中，钛膜带的存 靠：影响了同一深度的还原程度。 ■ 号 西 、-， 划 醴 图1 纯congruent铌酸锂的极化子荧光谱。图线b是近 stoichiometry铌酸锂的谱线 图2 对波导及其相邻区域从表面到内部的扫描结果 实验表明，波导的加工热处理过程破坏了样品表面附近的均匀性，即表面还原程度强于 内部。同时，钛膜带对波导处的保护作用，使得极化子荧光的强度可以用以描述钛膜带的尺 寸及位置。通常使用的钛扩散方式可能使波导的均匀性发生变化，很可能是较大的变化，需 要进行控制。利用非损伤性的极化子荧光谱，对加工过程热处理进行检控非常有效；检控过 程省时；每条谱线少于2s；可以进行三维扫描。 ·550· 参考文献 demetanniobatede and desmonocristaux lithium．J．