纳米金刚石薄膜涂覆Ti6Al4V合金的改性的研究.pdfVIP

第34卷 增刊1 稀有金属材料与工程 Vol 34，Suppll 2005年 6月 RAREMETALMATERIALSANDENGINEERINGJune2005 苟立，阎双峰， 冉均国，苏葆辉 (四川大学无机材料系 四川成都610065) 摘要：采用微波等离子体化学气相沉积法，在医用钛合金上沉积金刚石薄膜，其晶粒Jt寸40nm左右，表面粗糙度 Ra=39 nm。在SiC球为摩擦副的干摩擦实验中，2N载荷下运转10000转．摩擦系数在O．25左右，并且没有出现任何 薄膜破裂或剥落。血液相容性评价显求．动态凝血时间和溶血率比钛合盎基体均有较大的提高，接近熟解碳膜(LTIC)。 关键词：纳米金刚石薄膜；钛台金；化学气相沉积；摩擦学性能；血液相容性 中图法分类号：TQl64 文献标识码：A 文章编号：1002—185X(2005)S1—1171—03 钛合金基体进行表面预处理：将4b20mm钛合金圆片 1 引 言 在抛光机上抛光；然后用粒度11．tm～5／．J．m的金刚石粉 Ti6A14V是目前应用最普遍的人体植入材料。但手工研磨：再将研磨好的圆片放入40am的金刚石粉 是由于钒具有毒性，研究发现有可观的钛离子进入机 乙醇悬浊液中，超声振荡30min。最后用乙醇或者丙 体，并且铝与大多数的神经系统病症有关【l，2】，另外， 酮超声洗净、吹干备用。 钛合金关节摩擦性能比较差，磨损的碎片进入体液， 制备优化条件是：甲烷／氢气为o．5％～15％，微波 可能引起毒性反应，还会导致巨噬细胞炎症反应，使其 使用安全性受到人们的普遍关注口，4】。 1p．m～29m。 沉积具有良好附着性能的金刚石或类金刚石薄膜 金刚石薄膜的显微结构及组成采用扫描电镜 是解决这些问题一种好方法。类金刚石薄膜应用于钛 合金改性方面具有明显的优点，例如良好的生物相容 析；性能的表征参数有摩擦学性能及血液相容性等。 性、高硬度、强惰性、高热传导率和低摩擦系数等， 3结果与讨论 从而提高植入材料的耐磨性、抗腐蚀性，降低其表面 摩擦系数，改善其生物相容性，并且已有大量的研究。 3 1 金刚石薄膜显微结构 金刚石膜的硬度、热传导率、化学稳定性等性能更好， 图l是金刚石薄膜的SEM图。经过6h的沉积， 但是实际应用于钛合金改性还有一些问题【5’J，主要是 成膜致密半整，晶粒比常规金刚石膜的晶粒明显减小。 沉积的常规金刚石膜存在一些不足之处，例如沉积温 度高影响钛合金基体性能以及薄膜与基体的附着性 图、立体图。可见，薄膜致密平整，仅有少量晶粒异 能；薄膜的表面粗糙度比较大，直接影响了薄膜的使 用性能，例如摩擦学性能和生物相容性等。 纳米金刚石膜与常规金刚石膜和类金刚石薄膜相 比，在组成和结构上有自身的特点，如果应用到钛合 金改性上，在摩擦学、生物相容性等性能方面的变化 3．2金刚石薄膜的组成 是本研究的主要内容。 实验样品上金刚石薄膜的激光拉曼谱f波长为 2实验 近的波峰与纳米金刚石薄膜结构有关；1350cnl。1的波 采用由四川大学无机材料系自行研制的石英钟罩 峰为D峰(为金刚石特征峰1332cm。1变宽及偏移所 式MWPCVD装置在医用Ti6A14V上制备金刚石膜。致)，1500 1580 采用机器抛光