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技术专栏 TechnologyColumn 提高玻璃封装二极管可靠性的研究 韩文爵 2，王海风 2，罗春炼 2，田海兵 2 (1．东华大学 材料科学与工程学院，上海200051； 2．先进玻璃制造技术教育部工程研究中心，上海200051) 摘要：利用超细ZrO2在 ZnO．B203-SiO2微晶玻璃中的同素异构转变带来的体积效应来增加二 极管封装玻璃的韧性和二极管的可靠性。在 ZnO．B203．Si02微晶玻璃中添加一定量的超细ZrO2粉 粒 ，弥散均匀，用烧结法制得 ZnO—B2O3一SiO2微 晶玻璃，使用 AKASHI压痕法 ，测试材料增韧前 后的效果。使用XRD测试验证在玻璃封装二极管的工艺温度下能保持 t-ZrO2和 m—Zr02晶型应具 有的特征相。实验证明添加超细ZrO2后，ZnO—B203．SiO2微晶玻璃材料的韧性有很大的提高。经 功率二极管玻璃封装工艺流程实验和二极管的理化性能考核，引人适当含量的超细 Zr02能提高 玻璃封装二极管的抗热冲击性。 关键词：二极管；超细氧化锆；ZnO-B2O3一SiO2；微晶玻璃；增韧；可靠性 中图分类号 ：TN305．95 文献标识码 ：A 文章编号 ：1003．353X (2008)11-0961．04 Studyon theReliabilityIncreasingofGlassDiode HanWenjue，一，WangHaifeng ，LuoChunlian，_，TianHaibing， (1．CollegeofMaterialsScienceandEngineering，DonghuaUniversity，Shanghai200051，China； 2．EngineeringResearchCenterofAdvancedGlassManufacturingTechnology，Ministryof Education，Shanghai200051，China) Abstract：PhrasechangingofZr02inZnO—B203-Sio2system glass-ceramicsWas usedtoincreasethe flexibilityoftheglassdiodeandimprovethereliabilityas wel1． IntheexperimentsuperfineZr02Was mixed evenlywithZnO—B2O3-Si02systemglass-ceramicspowderandsintemdathig【htemperaturetogetthenewglass— ceramics．Theflexibilityoftheglass-ceramicsWasstudiedbyAKASHIpressingmarkmethod．Thetypical phaseofZr02ingla~sdiodewasstudiedwithXRD．Theresultsshowtypicalphasesoft-ZrO2andm—Zr02ale availbaleindiodeglass-ceramicsafterpackagingprocess．Andtheflexibilityofglass—ceramicsisimprovedby addingsuperfinezirconiaintheglass—ceramics．Alsotheresultofthediodepackagingprocessexperiments， physical and chemicalpropertiestestsshow htattherelibailitynadhtermalshock resistance