基于有限元的压电双晶片驱动模拟分析.pdfVIP

第 32卷 第 2期 陕西科技史学学报 Vol|32No．2 2014年 4月 JournalofShaanxiUniversityofScience Technology ADr．2O14 文章编号 ：1000—5811(2014)020134—04 基于有限元的压 电双晶片驱动模拟分析 张昌松 ，雷春耀 ，高 峰 (1．陕西科技大学 机 电工程学院，陕西 西安 710021；2．西北工业大学 材料科学与工程学院，陕西 西安 71OO68) 摘 要 ：在利用压 电双晶片设计执行器时，需要考虑双晶片的驱动特性 ，分析 自由端的挠度．利 用有限元 ANSYS软件和数学物理方法分析 了压 电双 晶片在不 同长厚 比值 K和不 同电压栽 荷 下的变形情况，以及 自由端的挠度 ，并比较分析 了两种方法的相对偏差和偏差存在的原因， 结果显示最大相对偏差分别为 2．4％和 0．5％．通过 比较分析 ，为利用有限元 ANSYS软件精 确分析双 晶片类执行器提供 了依据． 关键词 ：压 电双 晶片 ；挠度 ；相对偏差 ；执行器 中图法分类号 ：TN384 文献标识码 ：A Drivingsimulation ofthepiezoelectricbimorph basedon thefiniteelement ZHANG Chang—song ，LEIChun—yao ，GAO Feng (1．CoilegeofMechanicalandElectricalEngineering，ShaanxiUniversityofScience Technology，Xian 710021，China；2．CoilegeofMaterialsScienceandEngineering，NorthwesternPolytechnicalUniversity，Xian 710068，China) Abstract：Itisnecessoryto considerthedriving characteristicofthepiezoelectricbimorphs andanalvzethedeflectionofthefree—endindesigningtheactuators．Inthispaper，device’S deformationandthedeflectionunderthedifferentratiosK ofthelength and thicknessand thedifferentvoltagesareanalyzedbyusingthefiniteelementsoftwareANSYSandmathe— matica1一physicalmethodology．M eanwhile，thereasonsresultedfrom therelativedeviationof thetwomethodsareanalyzed．Theresultsshow thatthemaximum deviationsare2．4 and 0．5 respectively．According tocomparativeand analysis，itmakesitpossibletoanalyze thepiezoelectricbimorphsactuatorspriciselybyANSYS． Keywords：piezoelectricbimorph；deflection；relativedeviation；actuators 合做微尺度高频运动 ．随着微电子机械系统 的 0 引言 发展 ，压电双晶片越来越多地被用来作为微执行器 压 电双晶片广泛应用于驱动和感应领域，是开