基于SP效应的中波量子阱红外探测器光栅优化.pdfVIP

第36卷 第1期 上 海 有 色 金 属 VOI_36，NO．1 2015年 3月 SHANGHAINONFERR0USM ETAIS Mar．2()15 文章编号：1005—2046(2015)01—0025—04 DOI：10．13258／j．cnki．snm．2015．01．006 基于 SP效应的中波量子阱红外探测器光栅优化 倪 璐 ，田 力 (1．河南理工大学 电气工程与 自动化学院，河南 焦作 454000； 2．河南平原光电有限公司，河南 焦作454000) 摘 要：从建模、仿真结果出发，加入表面等离激元效应，运用时域有限差分算法(FDTD)，研 究中波量子阱红外探测器(QWIP)的近场效应和光耦合效率．重点研究在 SP效应下QWIP二 维光栅的最优参数．计算结果表明，对于4tzm的入射光，当光栅周期为P=1．3 m，栅孔深度 h=0．4 m，栅孔的占空比为 d=0．8时， —y平面 内Z方向电场值最大，光栅的耦合效率 最高． 关键词：量子阱红外探测器；表面等离激元效应；二维光栅；耦合效率 中图分类号：TN362 文献标志码 ：A GratingOptimizationofQWIPforMid-waveBasedonSurfacePlasmon NILu ，TIAN Li (1．SchoolofElectricalEngineeringandAutomation，HenanPolytechnicUniversity， Jiaozuo454000，China；2．HenanPingyuanOpticsElectronicsCo．，Ltd．，jiaozuo454000，China) Abstract．A studywasmadeonthenearfieldandcouplingefficiencyofmid-wavequantum wellinfrareddetectorsunderthesurfacePlasmoneffectthroughmodelingandsimulation． Theoptimalparametersin theSP effectoftwo—dimensionalgratingcanbeobtainedusing theFDTD algorithm ．Calculationresultsshow thattheelectricfieldalongtheZ direction reacheditsmaximum in the X-Y planewhen thegrating parametersaretaken asP = 1．3 ／,m、h 0．4 ／,m andd 0．8． Keywords：QWIP；SPPs；2一D grating；couplingefficiency 国等先进国家已商品化[2]．随着量子阱红外探测器 0 引 言 (QWIP)的快速发展，以GaAs为基础 的QWIP在 红外探测器是一种对于红外辐射进行高灵敏 材料生长和工艺加工方面已十分成熟，可以形成高 度感应的光电转换器件，是红外探测系统中的核心 灵敏度、低功率、低成本和高均匀性的红外成像系 元件 ．量子阱红外探测器(QWIP)自从 20世纪80 统 ，因此成为第三代红外探测器的优选技术方案之 一 [3-7] 年代被验证后，得到了广泛积极的研究 ]．目前国 ． 但是，由于QWIP对正入射的红外光不敏 外量子阱红外焦平面器件发展已趋成熟，中等规模 感，在双色焦平面器件中必须制作耦合光栅来实现 256×256、320×240、512