多孔硅技术在硅基微型燃料电池中的应用.pdfVIP

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2017-08-13 发布于安徽
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第卷增刊半导体学报 ! !’ #$% ()**%+,+-. 年月 !//0 1 ’!//0 23456(6789:5;8=(64285?92@8:( AB CCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCC 多孔硅技术在硅基微型燃料电池中的应用D 王晓红谢克文周俊刘理天清华大学微电子学研究所北京 E ’ J///LI 摘要多孔硅作为一种新型材料利用其疏松多孔的特性及与加工的兼容性将其用于硅微质子交换膜燃料电 F ’ 42 ’ 池的研究中作为其电极扩散层对多孔硅膜的性能制备工艺及多孔硅膜表面金属淀积工艺进行了研究提出一 ’ P ’ 套基于6(加工技术和薄膜淀积技术的制作硅微质子交换膜燃料电池的工艺关键词微型质子交换膜燃料电池多孔硅 F Q Q6( F!1H1 Q/1L/QLJ/ RRSTT U V 中图分类号F 0/W/1Q GJJWL 文献标识码F 文章编号F/!10MJHHE!//0I /M/JGLM/ @5 @ ; ( 基于6(技术的硅基微型质子交换膜燃料电池引言利用光刻和体硅腐蚀技术得到输送燃 E I’ X ab6=2 料的微通道提出了利用多孔硅技术制作电极扩散 Q 近年来基于技术的各类微型器件发层并对多孔硅技术在微燃料电池中的应用做了较 ’ 6( Q 展迅速并且有了广泛的应用但与之相应的微型能深入的研究 ’ ’ 量提供系统的发展则较慢 E I ’ ,YOZ$*$[+Z\B\.+,\ 严重减弱了微器件和微系统在微型化集成化等方燃料电池原理与结构 P c 面的优势广义的是指将微型 E I (82 \B\.+, $-O]Y* 传感器执行器控制电路以及能量提供装置等都集燃