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· 6 · 材料导报 B：研究篇 2015年 2月(下)第 29卷第 2期
热阴极直流辉光等离子体化学气相沉积法制备纳米晶金刚石膜的研究
彭鸿雁 ，赵万邦。，赵立新。，姜宏伟。，孙 丽
(1 海南师范大学物理与电子工程学院，海 口571158；2 大连理工大学汽车工程学院，大连 116024；
3 牡丹江师范学院新型碳基功能与超硬材料黑龙江省重点实验室，牡丹江 157012)
摘要 采用热阴极直流辉光等离子体CVD方法，在氩气／甲烷／氢气混合气氛中制备 出纳米晶金刚石膜，研究
不同氩气／氢气流量比对纳米晶金刚石膜沉积的影响。对样品形貌的SEM测试表明，随着氩气与氢气流量 比由40／
160增加到 190／10，膜中金刚石晶粒尺寸由约600nm减小到约30nm。金刚石膜 Raman谱 中金刚石特征峰逐渐减
弱，石墨G峰逐渐增强，反式聚乙炔特征峰及其伴峰强度加大。等离子体光谱分析表明C 是生长纳米晶金刚石膜的
主要活性基 团。
关键词 纳米晶金刚石膜 热阴极直流辉光等离子体化学气相沉积 氩气／甲烷／氢气混合气
中图分类号：TB321；O613．71；0484．4 文献标识码：A DOI：10．11896／j．issn．1005—023X．2015．04．002
NanOcrvstallineDiamondFilmsDepositedbyHotCathodeDirectCurrent
PlasmaChemicalVaporDepositionM ethod
PENGHongyan，ZHAOWanbang。，ZHAOLixin。，JIANGHongwei。，SUN Li
(1 Physics＆ElectronicEngineeringCollege，HainanNormalUniversity，Haikou571158；2 SchoolofAutomotive
Engineering，DalianUniversityofTechnology，Dalian116024；3 TheKeyLaboratoryofNewCarbon-Function
SuperhardMaterialofHeilongjiangProvince。MudanjiangNormalCo llege，Mudanjiang157012)
Abstract NanocrystallinediamondfilmswithdifferentgrainsizesweresynthesizedonSisubstratebyhotcatho-
dedirectcurrentplasmachemicalvapordepositionmethodwithdifferentcompositionsofCH4／Ar／H2gasmixture．
TheeffectoffluxratioofAr／H2ondepositionprocessofnanocrystallinediamondfilmswasinvestigated．Themor—
phologyandmicrostruetureofthesampleswerecharacterizedbySEM andRaman scattering．Theresultsindicated
thatwithAr／H2gasfluxratioincreasingfrom 40／160to190／10，thediamondsgrainsizedecreasedfrom ～6。Onm
to～3Onm，andRamanintensityofdiamond(1332cm一 )peakdecreased，whileG peakofgraphiteat1580cm and
thepeakat～ 1130cm一 anditscompanion peak (～ 1470cm )assignedtosp。C speciesoftrans—polyacetyleneat
grainboundariesincreasedgradually．Thespectralanalysisofthepla
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