非接触式曲面测头设计及精度试验研究.pdfVIP

2015正 仪 表 技 术 与 2015 第2期 Instrument Technique No．2 非接触式 曲面测头设计及精度试验研究 袁 江，吕 晶，邵建新，邱 自学，王淑芳 (南通大学机械工程学院，江苏南通 226019) 摘要：针对激光测头因测量范围小难 以满足大量程 自由曲面的高精度测量要求的问题 ，基于伺服运动控制技术，集成 激光测头和光栅尺研制了一种非接触式测头。控制激光测头工作在线l}生度误差较小的中心范围内、而采用光栅尺反馈 实 现大范围的测量，详细介绍了系统的硬件及软件设计。试验数据处理结果表明，与激光测头相比，研制的非接触式测头测 量范围扩大了1倍 ，而测量不确定度、修正值 、线性度等精度指标并没有下降。 关键词 ：自由曲面；激光测头；光栅尺 ；非接触测头 中图分类号：TH71l 文献标识码：A 文章编号：1002-1841(2015)02—0074-04 DesignandPrecisionExperimentofNon-ContactSurfaceProbe YUANJiang，LUJing，SHAOJian—xin，QIUZi—xue，WANGShuf·ang (SchoolofMechanicalEngineering，NantongUniversity，Nantong226019，China) Abstract：Thelaserprobeisdifficuh tomeetthehighaccuracymeasurementrequirementsforwide—rangefree—form surface duetoitssmallmeasurementrange．Anon—contactprobeintegratedlaserprobeandgratingur lerwasdesignedbytheseFvomotion controltechnology．Thelaserprobewascontrolledinthecenterrangeanditslinearityerrorwassmaller，andthegratingurlerwas usedtofeedbacktoachievewide—rangemeasurement．Thesystem hardwareandsoftwaredesignwereintroducedindetail．Compared withlaserprobe，experimentaldataprocessingresuhsshow thatthenon—contactprobemeasuringrangeisexpanded 1timeswhile itsaccuracyindexhavenotdeclinedsuchasthemeasurementuncertainty，correctionvalue，linearity，andetc． Keywords：fleeform surface；laserprobe；rgatingurler；non—contactprobe 0 弓f言 尺测量得到，自由曲面z向测量值即为激光测头和光栅尺的输 目前，接触式测头由于其测量范围大 、精度高、性能好等优 出之和。进行 自由曲面测量时，根据测量路径规划，驱动测量 点 ，被广泛用于三坐标测量机中 ，但受其测量速度慢 、效率 平台沿y向扫描测量，得到一截面曲线 ，然后驱动测量平台沿X 低 、价格贵、对软质被测件难以做精密测量等缺点限制，已越来 向移动一个间距完成下一截面测量，如此循环得到多个截面测 越不能满足当前 自由曲面快速、高效的测量需求；而基于三角 量数据，通过曲面重构获取三维曲面。 测距原理的非接触式激