气敏传感器的研究现状与发展趋势.pdfVIP

　2005 年第 4 期 　　　　　　　　　　　煤 　　矿 　　机 　　械 　　　　　　　　　　　　　　　　　　 ·3 · ( ) 文章编号 2005 气敏传感器的研究现状与发展趋势 1 1 1 1 2 贾良菊 , 应鹏展 , 许林敏 , 倪自丰 , 王雅晴 ( 1 中国矿业大学 材料科学与工程学院 , 江苏 徐州 221008 ; 2 浙江师范大学 , 杭州 310000) 摘 要 : 传感器技术是现代检测和自动化技术的重要基础之一 ,它已深入到人类生活的各个 领域。随着微电脑和微电子技术的日益普及和应用 ,对传感器的性能、数量及用途提出了新的需 求 ,这就使人们更加重视对新型传感器的开发。重点介绍气敏传感器的研究现状与发展趋势。 关键词 : 气敏传感器 ; SnO ; MEMS ; 纳米科技 2 中图号: TP212 文献标识码 : A 1 　前言 料之中。例如 ,半导体材料和新工艺的进展 ,促进了 目前,矿井中常用的瓦斯传感器可分为热导式 半导体传感器的迅速发展 ,研制和生产出一批新型 和热效式两大类。热导式瓦斯传感器是利用瓦斯与 半导体传感器 ;压电半导体材料促进了压电集成传 空气的导热系数不同而测量瓦斯浓度的。热效式瓦 感器的形成 ;高分子压电薄膜的出现 ,将使机器人的 ( ) 触觉系统更加接近人的皮肤功能。 斯传感器 又称热催化式瓦斯传感器 ,其工作原理 是利用可燃气体在催化剂的作用下进行无焰燃烧 , 3 　气敏传感器 产生热量 ,使元件电阻因温度升高而发生变化 ,测知 气体传感器是指将被测气体浓度转换为与其成 瓦斯的浓度。 一定关系的电量输出的装置或器件 。被测气体的种 2 　传感器的发展方向 类繁多 ,它们的性质也各不相同。所以不可能用一 随着微电脑和微电子技术的日益普及和应用 , 种方法来检测各种气体 ,其分析方法也随气体的种 对传感器的性能、数量及用途提出了新的需求 ,这就 类、浓度、成分和用途而异。 使人们更加重视对新型传感器的开发。传感器的发 气敏元件性能与敏感功能材料的种类、结构及 展 ,主要有以下几个方面的动向 : 制作工艺密切相关。用金属氧化敏感材料制作的半 ( ) 导体式气敏元件具有灵敏度高 , 结构简单 ,体小质 1 努力实现传感器新特性 由于自动化生产程度的不断提高,必须研制出 轻 ,坚固耐用等优点而得到广泛的应用 , 目前仍以 SnO 材料为主。 一批具有检测范围宽、高灵敏度、高精度、响应速度 2 快及互换性好的新型传感器 , 以确保自动化生产检 SnO 是一种广普型的气敏材料 ,围绕SnO 为基