扭摆式高g值微机械加速度计的设计优化与冲击校准.pdfVIP

振 动 与 冲 击 第 34卷第 1期 JOURNALOFVIBRATIONAND SHOCK 扭摆式高 g值微机械加速度计的设计优化与冲击校准 陶永康，刘云峰，朱科引，董景新 (清华大学 精密仪器系，北京 100084) 摘 要 ：设计实现了一种扭摆式高g值微机械加速度计。微结构采用十字形扭梁减小横向效应，摆片两侧使用梳 齿结构作为止档和阻尼器 ，6个敏感单元并联的方式提高基础电容量。有限元仿真得到表头谐振频率约为56kHz，前两 阶模态分离比大于4，高过载能力10万g，微结构灵敏度为8．94E一6pF／g，基于玻璃 一硅(SiliconOnGlass,SOG)工艺流片 后单侧基础电容约为3．6pF。分析了环形二极管电容检测电路的检测带宽问题 ，并设计 了高 g值加速度计的检测电路。 搭建 了霍普金森杆实验系统进行高g值的冲击校准，2万 g范围内非线性度2％，5V供电下标度因数约为24．5 v／g。 关键词：高g值微机械加速度计 ；扭摆式加速度计；检测读出电路 ；霍普金森杆；冲击校准 中图分类号：TH7；U666．1 文献标志码：A DOI：10．13465／j．cnki．jVS．2015．01．011 Optimizationdesignandshockcalibrationofpenduloushigh—-gmicro--machinedaccelerometer TAOyo 一kang，LIUYun-feng，ZHUKe-yin，DONGring—xin (DepartmentofPrecisionInstrument，TsinghuaUniversity，Bering100084，China) Abstract： A kindofpenduloushigh-gmicro—machinedaccelerometerwasdesigned．Cruciform torsionbeam was appliedtoreducecross-axissensitivity，andcombstructurewasusedasstopperanddamper．Themicro—sturctureparallels 6 sensingunitstoimproveinitialcapacitance．BasedOfffiniteelementanalysis，themicro-sturcture’Snaturalfrequencyis about56kHzwithmodalseparationratiomorethan4．Itcanresist1E5gshockaccelerationandthemicro—structure’s sensitivityis8．94E-6pF／g．Theaccelerometersfabricatedbysilicononglass(SOG)technology，anditssingle—side initialcapacitanceisabout3．6pF．Themeasurementbandwidthofringdiodecapacitancedetectioncircuitwasanalyzed andahighgaccelerometersdetectioncircuitwasdesigned．CalibratedbyHopkinsonbar，theaceelerometersnonlinearity is2％ of2E4grange．andthescalefactorisabout24．5t~V／gwith5V supply． Keywords：high—gmicro-machinedaccelerometer；pendulousaccelerometer；detectivereadoutcircuit；Hopkinson bar；shockcalibration 目前微机械加速度计的一种重要应用需求是高g 冲击前后性能稳定性好等优势，是发展潜力较大的一 值测量 ，获取高冲击过程中的加速度，用于冲击过载实 种高 g值加速度计类型4J。 验和某些特殊的军事应用场合。例如侵彻钻地武器的