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l秘 基于自旋阀材料的可编程灵敏度磁敏传感器 基于自旋阀材料的可编程灵敏度磁敏传感器 朱华辰1．钱正洪Ⅵ，胡亮2，李健平1。白茹1 (1．杭州电子科技大学磁电子中心，浙江杭州310018；2．宜昌东方微磁科技有限公司，湖北宜昌443000) 【摘要】基于自旋闽材料的磁敏传感器，以其小尺寸、高灵敏度、低功耗的优势，在工业控制、汽车电子等领域中应用日益广 泛。然而，单一灵敏度的传感器在实际应用中受到诸多限制。本文提出了一种基于自旋阀材料的可编程灵敏度磁敏传感器．不仅 对各类应用具有更强的适应能力，而且能够与嵌入式系统配合而实现“智能化”传感与控制系统。该传感器中，封装集成了东方 微磁科技有限公司生产的VAl00砣自旋阀传感器芯片以及针对该传感器的信号特点专门设计的一款可编程仪表放大器芯片。 测试表明，本文所提出的传感器可以有效的实现近似l一8倍原始灵敏度的可编程调节。 [关键词】 巨磁电阻；自旋阀；可编程灵敏度；仪表放大器 [中图分类号]TN432；TP212．6[文献标识码]A [文章编号]1001～1560(2013)增刊2一0164—03 O前言 1 器件原理 1988年，德国科学家PeterG兀lnberg和法国科学家AIbert 1．1自旋阀传感器芯片 Fert分别独立的发现了巨磁电阻效应(GMR)，并因此分享了采用的传感器芯片为杭州电子科技大学与东方微磁科技 2007年诺贝尔物理学奖…。这一历史性的发现引领了自旋电有限公司合作研制的VAl00砣型GMR自旋阀传感器芯片。 子学领域的研究热潮，GMR材料也成为近年来学术界和产业 0e。 该芯片的灵敏度为3．8mV／v／oe，线性区间为一3一+3 界共同关注的焦点。1994年，美国NVE公司率先实现GMR 图l所示为其内部电路原理图及静态响应曲线。如图1(a)所 传感器的产业化【2J。此后，GMR传感器凭借其灵敏度和尺寸示，传感器内部包含四个等值的GMR自旋阀电阻Rl、R2、R3、 方面的突出优势，在各类磁场检测应用中逐步取代传统的霍尔 R4构成惠斯通电桥，电阻大小为5kQ。其中R2和R4上覆盖 效应传感器和各向异性磁阻(AMR)传感器，广泛应用于工业了屏蔽层，因此只有Rl和R2能够感测外界磁场。惠斯通电 控制、汽车电子、医疗电子、智能电网、智能交通等领域。 桥结构能够有效的补偿由温度变化引起的漂移并输出差分信 然而，跟随“智能化”系统的发展趋势，单一灵敏度的GMR 号，对于后续电路而言更易于进行信号处理及噪声抑制。 传感器已难以胜任需求。如在工业控制应用中，往往需要传感 器具备针对目标磁场的自适应的功能：当目标磁场强度较小 时，希望传感器的灵敏度较高以检测微弱信号；而当目标磁场 较大肘希望灵敏度能够降低以避免输出信号饱和。再如，传感 一 {出口苦爨 器的灵敏度会随着温度的变化而发生微弱的变化¨。，对于应 ￡l。代；oN慧