探究干膜线路不规则侧面形貌的成因及隐患.pdfVIP

Exploringtheformation causeandpotential troubleofdryfilmlinedefects EExxpplloorriinnggtthheeffoorrmmaattiioonn ccaauusseeaannddppootteennttiiaall ttrroouubblleeooffddrryyffiillmmlliinneeddeeffeeccttss 探究干膜线路不规则侧面形貌的成因及隐患 Paper Code：S-054 田 玲 李志东 深圳市兴森快捷电路科技有限公司 Tel: 02082086295 Fax: 02082214804 E-mail: tl@ 作者简介：田玲，理科硕士，2005年毕业于厦门大学，后加入深圳市兴森快捷 电路科技股份有限公司至今，现任技术中心技术开发部研发工程师。 ： 摘要：：本文依据干膜线路的侧面形貌对干膜线路缺陷进行了初步归类，并结合试验结论对干膜线路 不规则侧面形貌的形成原因及其可能造成的隐患作了较全面、深入的分析。 ： 关键词：：干膜线路缺陷；侧面形貌；精细线路； Abstract: AAbbssttrraacctt:: This article classifies the defects of dry film line according as different irregular profile of dry film line simply, and analyzes their cause of formation and potential trouble based on the conclusion of some trials detailedly. KeyWords: KKeeyyWWoorrddss::dry film line defect ; profile ; fine line ; 前言 众所周知，PCB 精细线路制作主要是两大难点，一是成像，二是蚀刻。而作为蚀刻的前工序， 成像的分辨率和质量直接影响到后续蚀刻线路的质量。通常来说，蚀刻线路缺陷主要包括线宽超标、 开/短路、线路缺口/空洞、导线粗糙（图 1）等，而成像中干膜线路缺陷对这些缺陷的形成存在着很 图1 蚀刻线路缺陷 大的隐患。干膜线路缺陷受多种因素的影响，比如干膜本身性能，成像过程中的贴膜前处理、贴膜、 曝光、显影的控制，以及环境的洁净度等，有时还可能是几种因素的综合作用。好的干膜线路，除 了宽度与设计线宽一致外，侧面形貌应是接近矩形，无缺口或空洞（图 2）；而干膜线路缺陷虽然表 现形式多样化，但通常干膜线路的侧面形貌都是不规则的。 图2 好的干膜侧面示意图 本文依据干膜线路的侧面形貌对干膜线路缺陷进行了初步归类，并结合试验结论对干膜线路不 规则侧面形貌的形成原因及其可能造成的隐患作了较全面、深入的分析。 1. 上宽下窄型（倒梯形） 11.. 上上宽宽下下窄窄型型（（倒倒梯梯形形）） 在干膜线路缺陷中，有一种上层宽，下部窄的倒梯形侧面形貌（图 3）。这种缺陷通常是由于曝 光不足造成的。由于干膜是一种感光性的光致抗蚀剂，所以对特定干膜而言，其本身存在相对固定 [1] 的感光性，而感光性包括曝光时间宽容度、深度曝光性和感光速度等 。由于感光性的存在，决定 了干膜线路会受曝光能量较大程度的影响。当使用曝光机进行曝光时，曝光光线往下照射干膜感光 层的过程中，一方面由于光线透过菲林、聚酯薄膜等，发生散射，光能量减少；另一方面由朗伯比 尔定律 可知，厚度↑，则透光率↓；类比到曝光，即光线透射过干膜抗蚀剂上层 往下照射时，厚度增加，透光能量减少。所以，当曝光能量过低时，会出现干膜线路上层曝光量合 适，聚合反应完全；而下层曝光不足，聚合反应不完全。显影时，干膜下部抵