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非晶CoFeSiBMo合金微带磁性能及在MI磁敏感元件中的应用.pdf
年第 期( )卷
２１１１２ ２０１４ ２１ ４５
文章编号: ( )
１００１Ｇ９７３１２０１４２１Ｇ２１１１２Ｇ０５
非晶 合金微带磁性能及在 磁敏感元件中的应用∗
CoFeSiBMo MI
,
１２ ２ ２ ２ ２
, , , ,
李 杰 唐 敏 汪小华 邵东升 林新华
( , ; , )
１．中国科学技术大学 化学与材料科学学院 合肥 ２３００２６２．中国科学院智能机械研究所 合肥 ２３００３１
: ( )
摘 要 采用单辊快淬法制备 基非晶软磁合金磁学性能的影响因素除自身
Co Fe Si Co
０．９４２ ０．０５８ ７１－x ６．４
( ) . , ,
B Mo x＝０~５非晶微带 合金微带的玻璃转化 合金成分外 热处理工艺也是一个关键因素 常见的退
２２．６ x
( ) 、 、 [１１Ｇ１３].
温度 Tg 随着 Mo含量的增加由８０５K单调升高至 火方式有磁场退火 电流退火 应力退火等 采用
; , ,
８３２K Mo含量为x＝５时 过冷液相区ΔTx 达最大 上述热处理手段尤其是磁场退火 不仅可以消除制备
, . ,
值 表明添加 Mo提高了该体系合金的非晶形成能力 过程中产生的应力 而且可以在退火过程中调节磁场
( ) , , ,
饱和磁化强度 Ms 随 Mo含量的增加而减小 但在 方向 感生不同方向的各向异性轴 对合金磁学性能产
[ ]
, ( ) , . １４
Mo元素含量x＝２时 矫顽力 Hc 值最小 有效磁导 生影响 Song等 采用横向和纵向的磁场热处理方
( ) . , ,
率 最大 磁学性能测试结果显示 与常规热处理 式有效提高了Co Fe Si B 非晶带的软磁性能
μe ６８．１５ ４．３５ １２．５ １５
, .
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