应用于微电机的共烧多层压电陶瓷的制备及分析.pdfVIP

下载本文档

16
0
约7.31千字
约 5页
2017-08-11 发布于重庆
举报
版权申诉

应用于微电机的共烧多层压电陶瓷的制备及分析.pdf

1、本文档共5页，可阅读全部内容。
2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

应用于微电机的共烧多层压电陶瓷的制备及分析.pdf

38 人工晶体学报 Vol. 38 SpecialEdition 2009 8 JOURNAL OF SYNTHET I RYSTALS August, 2009 孟祥宇, 褚祥诚, 毕晓鹏, 李龙土 (, 100084 ) : , Pb (M g Nb ) O Pb(N i Nb ) O Pb( ZrT i) O , d = 300 p /N, K 1/3 2 /3 3 1/3 2 /3 3 3 33 P 0. 70~ 0. 74, T = 185 , 8. 5mm 1. 2mm, d = 3000 p /N 33 14. 0mm 12. 1 mm, 31. 34 kHz, 2 V, 10 mN, 10 V, 3. 2m s, 85 mN, 10 V, 7 mN, , : ;; ; : TM359. 6 : A : 1000985X( 2009) S1007205 Process and Analysis ofM ultilayer Piezoelectric Ceram ic forM icromotor MENGX iangyu, CHUX iangcheng, BIX iaopeng, LILongtu ( State Key Laboratory ofNew eram ics and F ine Processing, Department ofM aterials Science and Engineering, Tsinghua University, Beijing 100084, hina) Abstract: A new kind of m icromotorw ith stickboard structure has been designed and assembled. The design, process, polarization and analyses of multilayer piezoelectric ceram ic for m icromotor were discussed. Using Pb (Mg Nb ) O Pb ( Ni Nb ) O Pb ( ZrT i) O w ith d = 300 p /N, 1/3 2/3 3 1/3 2/3 3 3 33 electrom echanical coupling factorK = 0. 700. 74, T = 185 , multilayer piezoelectric ceram icwith 8. P 2 5 1. 2 mm in size, and d = 3000 p /N has been made. The m icromotor driven by multilayer 33 2 piezoelec