非晶金刚石与非晶碳化锗复合增透保护膜系的设计与实现.pdfVIP

第25卷第4期 红外与毫米波学报 V01．25．No．4 2006年8月 J．InfbredMillim．Waves AugIlst，2006 文章编号：100l一9014(2006)03—0451一04 非晶金刚石与非晶碳化锗复合增透保护 膜系的设计与实现 朱嘉琦1，韩杰才1， 胡超权2， 郑伟涛2， 韩潇1， 孟松鹤1 (1．哈尔滨工业大学特种环境复合材料技术国防科技重点实验室，黑龙江哈尔滨150080； 2．吉林大学材料科学与工程学院，吉林长春130012) 摘要：为了有效保护硫化锌等红外光学元件并提高其在工作波段的透过率，根据薄膜光学原理进行增透设计，从而 获得膜系光学参数；采用射频磁控溅射技术制备非晶碳化锗薄膜，通过调整甲烷流速比调整薄膜的折射率，根据流 速比和沉积时间控制膜厚，再用过滤阴极真空电弧技术制备非晶金刚石薄膜，分别改变衬底偏压和沉积时间控制 薄膜的折射率和膜厚．利用光谱椭偏仪和台阶仪表征薄膜折射率和膜厚，通过小角X射线反射和X射线光电子谱 测试非晶金刚石薄膜的密度和非晶碳化锗薄膜中的锗含量，使用纳米压痕仪和傅里叶红外透射谱仪确定薄膜的硬 度和红外透过率．试验表明，非晶金刚石和非晶碳化锗薄膜的折射率分别与薄膜的密度和薄膜中的锗含量密切相 关，非晶金刚石与非晶碳化锗复合膜系是硫化锌等红外光学元件性能优异的增透保护膜． 关键词：非晶金刚石；非晶碳化锗；增透保护膜；光学性能 中图分类号：TB39文献标识码：A DESIGNANDREALIZATIONOFTHECOMBINED DIAMONDANDAMORPHOUSGERMANIUMCARBmEFILMS ASANTIREFLECTIVEAND zHU HAN HU Jia．Qil， Jie—Cail， Chao-Quan2， ZHENG HANXiaoMENG Wei．Ta02， 2， Song．Hel for Instituteof (1．CenterCompositeMaterials，HarbinTechnology，Harbin150080，China； ofMaterials Seience，Jilin 130012，China) 2．Department University，ChaIlgchun antirenectionw鹊taken thecombinedfilmsof Abstr敝t：Thedesi印of byusing arnorphousdi啪ond(a-D)andamorphous tothefundamentaltheodesofthe interfbrence hydrogenatedge邢aniumcarbide(d·Gel呵C，：H)according optical coatings． The whichrefrac￡iveindex lhe f】owrate强tioandjtslhiclnl∞swas w鸽adjus￡ed melh卸9 a．cel吖C；：H矗lms，0f bycban舀ng detenIlinedthenowrateratioand time，were