电子背散射衍射系统研制改进.pdfVIP

电子显徽学报JChin．Elect／．Mieroscsoc 2001年 20(4)：263—269 263 电子背散射衍射系统的研制和改进 张希顺，刘安生，邵贝羚，孙丽虹，孙继光，胡广勇，陈朝庆 (北京有色金属研究总院，北京100088) 摘要：电子背散射衍射装王是菝取材料的亚微米的范畴晶体学信息扫描电钝附件．此装王可在观 察材料的彤境噩分析成分的同时研究材料的取向关系。奉文夼绍了两种不同档班的电子背散射衍射 接收乐统．谊系统的CCD以快速方式接收的灵敏度为5ndLLX，积寮方式楼收的灵教度为lOrdux，分辨 x x 512 8bit、512x16bit，扫描卡最高的分辨率井成 率为512dpi，像元敷分别曲512×512x 功地安裳在北京有色尘属研完总院jsM．840扫描电境上。此系统谩计各理、结构简单、操作方便安 全。同时蝙写了识别和标定电子背散射衍射花样的软件。 美t词：电子黹散射衍射；数字固像；扫{t电镜 电子背散射衍射装置在扫描电镜中用于研究大块样品中各种大小晶粒的晶体结构和晶粒间 的取向关系。这一技术扩展了扫描电镜的应用范围，用该技术可以做许多研究工作．例如： (1)测量研究晶体材料的晶体结构，测量晶粒的取向和晶粒问的取向关系。 (2)研究晶体材料(如半导体材料)中微缺陷和微夹杂的结构。 (3)研究第二相和基体取向的关系。 90年代英国、美国和丹麦生产出电子背散射衍射装置可以直接配备在扫描电镜上”“1，但由 于价格比较昂贵，不可能普遍使用。为此北京有色金属研究总院对现有扫描电镜进行了改造，自 行研制和装配背散射电子衍射接收系统实现了扫描电镜背散射电子衍射图像接收、数字处理和 分析”…。近期又完成了图像处理和计算机自动识别和显示背散射电子衍射花样带宽和夹角软 件。此项技术改造开发将有利于对材料加工织构的研究、为生产工艺的优化提供依据，研究材料 的晶体结构，测量晶粒的取向，研究第二相和基体取向的关系等，可增加和扩大扫描电镜领域的 研究内容，提高研究水平并为板材生产和加工工艺提供必要的科学数据，同时价格合理，适应国 内广大用户的承受能力。 1．扫描电镜电子背散射衍射附件构造 根据电子背散射衍射原理设计了扫描电镜的电 子背散射衍射附件，开发了两种不同档次的一体式 扫描电镜接收系统。在扫描电镜上实现了实时电子 背散射衍射图像采集，贮存和数字化处理。图1是 电子背散射衍射附件的示意图。样品需要置于700 倾斜，采用透射荧光屏接受电子背散射衍射花样，通 过铅玻璃用高灵敏度低亮度摄像机将图像传送到计 算机上。 该系统与JsM．840扫描电镜样品室连接，CCD 数字成像系统安放在扫描电镜为波谱仪预留的窗 口，不改变原有的扫描电镜结构。该系统的机械结 图1电子背散射衍射接收处理系统示意图。 构紧凑，使用方便，不影响扫描电镜的原有功能。 Schematicoftheelectron Fig．1 aas,m ofSEM． beck-mattering‰tionsystem 电子显微学报JChin．Eleetr．MicroscSoe 2001年 20(4)：263—269 2．系统达到的技术指标 2．1系统硬件 电子背散射衍射装置由以下单元组成：电光转换单元、X一射线防