短波红外(1-3μm)波段光电探测器及其非通讯应用.pdfVIP

短波红外(卜3um)波段光电探测器及其非通讯应用 张永刚‘，顾溢，李成，王凯，李好斯自音，方祥 (¨_日{4{Ml*№《＆b*n№^Ⅲ％m*自∞n¨#目《{^4∞自．I*200050) “^m“，镕Ⅻ*m“r#K《*∞jnGns^n№＆m』碉#nn∞《《ⅢR％Ⅲ。 X镕H m＆目*m1U镕㈣％-m☆#十*#_Il=mmmW A rlⅧ*女*；rB4女nb#’Fb zn自目· Short-waveI PhotodetectorsandTheir nfrared(1—3pm)Band ioations Non—COlmUnication AppI YonggangZhang，YiGu，ChengLi，KaiWang，HaosibaiyinLi，XiangFang §㈣Keyh”哪Ⅳh…dm”曲自r{巾…口∞”ghfJ_jtn㈣off…口d}币删咖k科 20005nChm4) chne49^‘。a”口q＆…“Sha”gtmf Abreact：In自“pap。fm…“哪ll。mlo口日of 州㈣㈣‘……mem…岫……bz,M 咀锄ph酬p4rmubrlv∞㈣P圳 吣舢删”gh6a^…m州咖…m…b Kmdm：m…曲吐Fho呲d…F“m㈣∞Ⅱdo㈣o…K椭唧lmI∞¨B EEACC：42，0．2，蛐 方面的潜在的量人面广的麻用。除此之外． 1廊川背景 这个波段的光电撵测器在特种夜视、透雾透 山于短波红外(1-3Lun)波段一系列独特 烟成像、激光雷达、澈光安全测距，热光伏 的光谱特性．此波段已引起了人们的广泛重 能蕈转换、高温物体探测以及光谱学研究等 桃，这个波段的光电揲测器也LJ显重要。 领域也都有重要廊用。光通讯无疑是这个波 段最重要的应用领域之一，但本文将不涉及 这方面的内容。 2短渡红外光电椿测材料与器件 系列化合物半导体材料均己成功应用 于短波红外波段的光子型(或日量了型)光 电探测，其中包括II-VI族的HgCdTc(MCT)、 Pbs和m．v旌的舟锑化台物及／aGaAs等等。 {l；{一 MCT无疑是最典型的]I-VI族可变带隙材料 靴趴 井已在短波红外波段获得了优良性能．侗由 …nvⅢ 于材料t”的弱Hg-To键对其表面、界面乃至 口I 体材料稳定性的影响以及由此引起的一系列 mnⅫamⅨ“n＆n*l-3l一*＆mmn*¨ ch目iml目“…“∞…mm FiglAb∞tion -[艺技术和应用方面的难题．人们直希望 mn…№db¨dofl3lⅧ 用稳定性较高日工艺技术相对成熟的III-v 幽1不出r水汽和二氧化碳在此波段的 族材料取代MCT。在llI．v族方面，和InAs 吸收特性。以此为例：水分子在lI、l4，