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第 37 卷，增刊 红外与激光工程 2008 年 4 月 Vol .37 Supplement Infrared and Laser Engineer ing Apr. 2008 二维 PSD 动态响应误差分析 尚鸿雁 (海事大学 电气与自动化系， 上海 200135) 摘要: 针对光源连续扫描位置敏感器(PSD)时，PSD 产生的动态响应误差随扫描速度的不同而发 生变化的问题 ，基于二维 四边型 PSD，建立光源扫描照射下 PSD 动态响应模型，仿真分析得到了不 同光源扫描速度下，PSD 动态响应误差的分布，光源扫描速度越快，PSD 动态响应误差越大 。最后 对影响动态响应误差分布的两个主要 因素进行 了分析。建立 的二维 PSD 动态响应模型及仿真结果为 PSD 器件 的实际工程应用提供 了一个有效的依据。 关键词 ：位置敏感器； 动态响应误差 ； 扫描速度 ； 仿真 中图分类号：TN24 7 文献标识码 ：A 文章编号：1007-2276(2008)增( 几何量) -0302 -04 An alysis on th e dyna mic r esp on se er r or of 2D P SD SHANG Hong-yan (Department of Electri cal Engineering and Aut omation , Shangha i Mariti me U niver si ty, Shanghai 200 135, China) Ab st r act : The dynamic response error of position sensitive detector (PSD) changes with the different scanning speeds. When light source scans and irradiates the surface of PSD, a mathematical model of dynamic respon se error of 2D PSD is established and the simulati on is done b ased on the different scannin g speeds. The larger th e values of dynamic response error are, the faster the scanning speeds are. Finally, two ma in fact ors infecting th e distribution of dynamic response error is analyzed. The model of dynamic response error and simulative results provide an available reference for the actually engin eerin g applications of 2D PSD. Key wor d s: PSD ; Dynamic response error; Scanning speed; Simulation 0 引 言 1 二维 PSD 动态响应模型的建立 PSD 是一种基于横 向光电效应 的光电位置敏感 器件 ，由于其具有高灵敏度、良好的瞬态响应特性、