WO3薄膜的制备及气敏特性研究进展.pdfVIP

维普资讯 · 84 · 材料导报 2007年 11’月第 21卷专辑Ⅸ WO3薄膜的制备及气敏特性研究进展 张召涛，杨晓红，马 勇，穆建国 (重庆师范大学物理与信息技术学院，重庆 400047) 摘要 WO3薄膜是一种智能材料，在电致变色、共催化和气敏性方面具有广阔的应用前景。综述了w03薄膜 材料的制备方法及现状，并对其优缺点进行了评价。介绍 了气敏性方面的应用和机理，说明了不同掺杂对气敏的影 响；并对今后 的发展方向提 出了一些看法。 关键词 三氧化钨 气敏薄膜 制备工艺 气敏机理 应用 中图分类号：TP212．1 文献标识码：A Research ProgressinPreparationandGasSensitivityofW O3Thin-films ZHANGZhaotao，YANGXiaohong，MA Yong，MU Jianguo (SchoolofPhysics InformationTechnology，ChongqingNormalUniversity，Chongqing400047) Abstract WOsfilm isakindofsmartmateria1，whichhasbeenwidelyappliedinelectrochromism aswellas ． electrcatalysisandgassensingma terials．Inthepaper，thepreparationmethodofnano-W O3film anditsadvantagesand disadvna tagesarereviewed．TheapplicationofW O3sensing-film andgassensingmechanism arereviewed．Different dopingshavedifferenteffectsongassensitivity．Someopinionsaboutthefutureresearchtrendof areproposed． Keywords tungstentrioxide，gassensingthinfilms，preparationtechnique，gas—sensingmechanism，appli— cation 自2O世纪8O年代以来，随着纳米技术的迅速发展，纳米材 射到衬底表面，凝结形成固态薄膜。八 Hoel等L10]把 99．9 的 料已成为凝聚态物理学和材料学的一个新的增长点。当一些材 纯w 和 Pd分别放在 2个螺旋线 圈中加热，通过气体反应在 料的尺寸达到纳米级时可表现出许多特殊效应L1’2]，在信息功 z03衬底上得到掺Pd的w03膜，其粒径约5nm，然后在200 能材料 、催化、磁性材料等领域应用广泛。作为过渡金属氧化 ～ 600℃的范 围内退火 lh。XRD测试表明，退火温度大于 物，w03薄膜材料具有电致变色特性 ，在信息存储器件、显示器 300~C时WOs开始由四方晶系结构向单斜晶系转变。真空蒸镀 件等[3]方面具有广阔的应用前景。纳米 w03具有较大的比 得到的w03薄膜结构 比较无序、多孔 ，且膜中易含水分，O． 表面，表面效应显著，是一种很好的催化剂[5]，既可作主催化 BohnkeE”]证明此种情况下的薄膜化学计量可用 w()r·yH20 剂又可作辅催化剂，且对反应有高效的选择性。w03对电磁波