高质量2英寸双面YBCO%2fMgO薄膜批量化制备.pdfVIP

第37卷 增刊4 稀有金属材料与工程 V01．37，Sup#．4 MATERIALSAND 2008年 10月 RAREMETAL ENGⅡ叮EERING October2008 熊 杰，陶伯万，韩 晓，贺镜谭，冯 啸，宋晓科，张 飞，李言荣 Jtl成都610054) (电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室。lⅡl 摘要：开展了2英寸(5．08 面状态的研究，提出了高温退火处理基片的方法，改善了基片的表平整度，大幅度提高了薄膜的取向性以及结晶质量， 0T)砣．5 GHz， 制备得到的YBCO薄膜具有优越的超导电性，薄膜临界电流密度上(77k MA／cm2，微波表面电阻R。(10 77K)≈o．16 mfZ。能够满足超导滤波器的设计要求。另外，还就工艺的稳定性和可重复性进行了研究，表明电子科技 大学已具有小批量化提供大面积双面YBCO样品的能力。 关键词：YBCO超导薄膜；MgO单晶基片：退火；可重复性 中图法分类号：O51l 文献标识码：A 文章编号：1002．185X(2008)$4-485．04 1 简 介 2实验 高温超导薄膜(HTS)具有很小的微波表面电阻， 采用对靶直流溅射配合双轴变速旋转的方法【5】， cm 因而在微波器件领域有广泛的应用。利用超导薄膜材 在5．08 料可以制得高性能的微波无源器件(微带传输线、滤 导双面薄膜。 波器、谐振器和延迟线等)。目前高温超导微波滤波器 实验采用宣径为50mm、高为45mm、厚度为5 与传统的微波滤波器相比高温超导微波滤波器具有低 插入损耗、极窄的带宽、温度稳定性好等优点，极具 单晶基片。通过系列实验表明：溅射总压力为40Pa， A， 应用前景【11。 氧氩比为l：l，溅射电压为130V，溅射电流为0．5 MgO(001)单晶的介电常数小(t=9．65)，介质基片温度为720℃，溅射时间为6h，是在MgO基片 上生长YBCO薄膜的合适工艺参数，制备出的YBCO 损耗低(tan占r--4x10。5)，热膨胀系数与YlBa2Cu307．6 1．2x 10由／℃)，是沉积YBCO高温超薄膜厚度约为500nm，更多详细的工艺参数参见文献 (YBCO)接近(1 导薄膜的常用基片。但MgO基片与YBCO有较大的[6，7】。本文主要研究基片高温退火对薄膜的影响，实 晶格失配(一9％)，且在空气中稳定性不好，容易潮 验其他工艺参数固定在上述条件不变，对比800℃以 上高温退火60 解，在空气中基片表面迅速形成一层Mg(OH)2或 MgC03，这也给薄膜的制备及实际应用带来的一定的基片情况及其上沉积的YBCO薄膜质量。在获得高性 难【2卅。 能的基础上，完成了MgO基片上生长YBCO薄膜的 另外，为了实现高温超导微波器件的市场化，大 批量化制备，并对其重复性进行了研究。高质量的样 面积双面超导薄膜的批量化生产是必不可少，这就要 品被电子科技大学微波中心，电子集团16所、29所 求其制备技术具有很好的可重复性和批量化的生产。 广泛使用。 目前国际上仅有少数单