乙二胺四乙酸含量对M型钡铁氧体薄膜磁性能和微波性能的影响.pdfVIP

乙二胺四乙酸含量对M型钡铁氧体薄膜 磁性能和微波性能的影响 常 乐 ，刘颖力 一，陈大明。，王 雨 (1．中国电子科技集团公司，北京 100846； 2．东莞电子科技大学信息工程研究院，广东东莞 523808； 3．电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室，四川成都 610054) 摘 要：采用有机金属裂解法在PtT／iO2／SiO2／Si基板上制备 M型钡铁氧体 (BaM)薄膜，并着重研究了螯 合剂乙二胺四乙酸(EDTA)含量对BaM薄膜结构、磁性和微波性能的影响。研究发现，当EDTA：(Ba2十+Fe”) ：1(摩尔比)时，BaM薄膜形成较多的六角形状晶粒 ，而且磁性能和微波性能较佳，沿C轴生长的取向度高达 0．9l，饱和磁化强度 为 302kAm／ (z／oMs--0．38T)，在50GHz时铁磁共振线宽△Ⅳ为22kAm／ (277Oe)。这是因 为适量的EDTA不仅在溶液挥发时能够阻止金属离子的分离和间歇性的沉淀，并且能够促进成形成均匀的前驱 液，从而在前驱液分解时能促进形成BaM，在经过热处理后易形成沿c轴取向、具有六角形状晶粒的BaM薄膜。 关键词：M型钡铁氧体薄膜；结构； 磁性能；微波性能 中图分类号：TM277+．2 文献标识码：A 文章编号：1001—3830(2015)01—0026—06 InfluenceofEDTA contentonthemagneticandmicrowavepropertiesof M 一 pebarium ferritethinfilms CHANGLe，LIUYing．1i，CHEN Da．ming ，WANGYu ，．ChinaElectronicsTechnologyGroupCorporation，Beijin10084~China； 2．InstituteofElectronicandInformationEngineeringinDongguan，UESTC,Dongguan52380China； 3．StateKeyLaboratoryofElectronicFilmsandIntegratedDevices,Universityof ElectronicScienceandTechnoloyg ofChina,Chengdu610054,China Abstract：M．typebarium ferritethinfilmswerefabricatedonPt／TiO2／SiO2／Sisubstratebymetalorganic decompositionme~od．~cusmgon theefrectOfelhylene diaminetetraaceticacidonhtestructure，magneticand microwavepropertiesofBaM ferritehtinfilms．Itisfoundhtat．whenhtemoleratioofEDTA ： (Ba2十+Fe”)=1 hexagonalgrainsareformed，nadhteBaM ferritehtinfilm hasexcellentmang eticna dmicrowaveproperties：dergeeof orienattionofrCaxisofupt00．9l，saturationmagnetization of302kA／m andhteferromagneticresonancelinewith of22kA／m (277Oe、at50GHz．TheseresultsareduetohtefacthtatappropriateamountofEDTAnotonlypreventshte sergegationorintermittentprecipitationofmeatlionsfrom solutionduringevaporationbutalso