基于YCOB的高温声表面波谐振器的研究.pdfVIP

第37卷第 1期 压 电 与 声 光 Vo1．37No．1 2015年02月 PIEZOEIECTRICS8LACOUSTOOPTICS Feb．2O15 文章编号 ：1004—2474(2015)01—0017—03 基于YCOB的高温声表面波谐振器的研究 曾义红，舒 琳，邓森洋，张万里，彭 斌 (电子科技大学 电子薄膜与集成器件 国家重点实验室，四川 成都 610054) 摘 要 ：该文研究了在新型压 电材料 YCa0(BO。)。(YCOB)上设计和制备高温声表面波 (SAW)谐振器 。研究 了 2种不同切型 X-90。、Z-90。YCOB为基底 的SAW 谐振器 的高温性能 。研究表明，在 600C下器件 的稳定性高 ， 其谐振频率随着温度 的升高呈线性 降低 。Z-90。YCOB器件 的谐振频率和温度灵敏度分别为 278．94MHz和 21．22kHz／℃；X-90。YCOB器件 的谐振频率和温度灵敏度分别为230．53MHz和 13．44kHz／℃。结果表明，Z-90。 切型的Yc0B的温度灵敏度较高 。 关键词 ：YeaO(BO。) ；声表面波 ；高温谐振器 中图分类号 ：TN65；TN384 文献标识码 ：A HighTemperatureSAW ResonatorBasedonYCOB Substrate ZENG Yihong，SHU Lin，DENG Senyang，ZHANG W anli，PENG Bin (StateKeyLab．ofElectronicThinFilm sandIntegratedDevices，UniversityofElectronicScienceand TechnologyofChina，Chengdu610054，China) Abstract：H ightemperatureSAW resonatorbasedon YCa4o(BO3)3piezoelectricmaterialswasdesignedand researchedinthiswork．ThecharacteristicofSAW resonatordepositedontwotypeofYCa4O(B0 )3substrateswith cuttingtypeofX一90。andZ一9O。wasstudied． Resultshowed thattheSAW resonatorshad high stabilityup tO 600 ℃ ，theresonantfrequencyoftheSAW resonatorsdecreasedlinearlywiththeincreasingofthetemperature．The resonantfrequency and the temperature sensitivity of the SAW resonatorwith Z-90。YCOB substrateswere 278．94MHzand21．22kHz／。C．respectively．TheresonantfrequencyandthetemperaturesensitivityoftheSAW resonatorwithX-90。YCOB substrateswere230．53MHzand13．44kHz／℃，respectively．Theresultssuggested thattheYC0BwithZ-90。cuttinghadhighertemperaturesensitivity． Keywords：Yea40 (BO3)3(YC0B)；surfaceacousticwave(SAW )；hightemperatureresonator 0 引言 列等。其 中，a—Si0。在 573℃时会转变为Z-Si