过程色谱仪在多晶硅工业上与应用.pdfVIP

Thec0帕咖a『3fdI椰曲orIal L，一 -J’ 慧熙The兽I黛㈣船㈣and聪慧F㈨h咖洲m舢删Jr咖TIenl柑嘧hoIlDe帕10pI怕m晰 节能减排安全环保II-JH-V啊J1r：^． 过程色谱仪在多晶硅工业上的应用 PGC on ApplicationPolysiliconIndustry 杨飞 (西门子(中国)有限公司上海200120) 摘要：多晶硅复杂的生产工艺，难以控制的介质条件，极高的产品质量要求，都需要更为先进 的分析技术。西门子过程色谱仪以专门设计的样品处理系统，并行分析，防腐蚀样品阀，高精度脉 冲氦离子化检测器等先进的技术，实现精馏、还原、氢化、尾气回收等各个工段的实时监测，有效 的提高多晶硅的生产效率和产品质量。 关键词：过程色谱仪多晶硅三氯氢硅样品处理检测器 Abstract：The of challengingcomplicatedprocess，difficult-to—handlehigh needadvanced technology．Siemens productqualityrequirements，all analysis processgas with special-designsampleconditioningsystem，parallelconcept，anticorrosivesamplevalve，highprecision on—linemonitorto and the PDHID，realized distillation，reactor,convertorrecovery unit，effectivelyimprove and polysiliconproductionefficiencyproductquality． 引言 由于能源危机和日益严重的污染问题，对永久性清洁能源～太阳能的利用逐渐成为人们的共 识。利用太阳能电池将太阳能直接转换为电能的技术称为光伏发电技术(PV)，自从1954年第一 个太阳能电池问世以来，正以平均每年40％的速度增长。全世界太阳能电池的生产主要集中在美国 多晶硅是光伏电池组件的主要原料，中国不仅为国内，也为国外的众多太阳能电池生产商提供多晶 硅原料。在目前国内普遍采用的西门子还原法多晶硅生产工艺中，过程气相色谱仪发挥着重要作用， 量的作用，并能优化多晶硅生产，提高产品产量。 西门子是享誉世界的过程分析仪和解决方案提供商。在多晶硅领域拥有丰富的经验，对工艺过 程控制和优化提供最佳的解决方案 1多晶硅生产流程——西门子还原法 总所周知，多晶硅的生产工艺有很多种。半导体行业和光伏产业使用的大多数多晶硅是通过化 暂时存储后，再将液体蒸馏提纯，放入存储罐中。然后气化TCS和氢气混合，进入还原炉(西门子 反应器，西门子最早研发，故称西门子还原法)，在高温下发生化学气相沉积生成多晶硅。TCS具 有很多优点，例如，沉积率高，挥发性强，从而更易于除掉硼、磷等杂质。使用TCS的其中一个缺 西CIOAE2010I 265 第三届中国在线分析仪器应用殛发展国际论坛论文集 节能减排安全环保 …………q…∞’ 点是需要火显电才能保持高的I，艺温度。最后硅以硅块的形式从加热棒中除击。副产品可以在尾气 回收装置和转化炉中重复利用，例如．帆还原炉m来的副产品四氯硅烷和氯气可以转化为三氯氢硅 和氯化氢 ■ ． 纠型=