工件面形的精确测量仿真.pdfVIP

第 37 卷，增刊 红外与激光工程 2008 年 4 月 Vol .37 Supplement Infrared and Laser Engineer ing Apr. 2008 工件面形的精确测量仿真 易亨瑜 ，胡晓阳，陈门雪，王文东，郑为民 （中国工程物理院 应用 电子学研究所 ，四川 绵阳 621900） 摘要 ：对于高精度加工，工件的微小面形偏差的精确测量非常重要 。比较 了微小面形的两类光 学测量仪器 ，重点介绍了瞬态干涉测量方法。分析了干涉测试 中相位展开方式，并将其应用于工件 面形的测量中，用单张干涉 图实现干涉波前的恢复，获取工件的面形信息。利用 GLAD 软件进行仿 真，模拟 了干涉仪对工件面形测量得到的波面干涉条纹图，并利用相位展开方法，读入干涉图样， 进行工件 的面形重构，获得 了初步的仿真测量结果。对比了波面重构前后 的工件面形，分析了重构 面形失真的原因。 关键词 ：光学测量； 相位展开； 条纹跟追； 相移； 干涉测量 中图分类号：O47 1.1 文献标识码：A 文章编号：1007-22 76(200 8)增(几何量)-0019-04 Pr ecise measur ement simu lation of wor kp ieces’sur face YI Heng- u, HU Xiao- ang, Chen Men-xue, WANG Wen-dong, ZHENG Wei-min (Institute of Appli ed Ele ctr onic,CA EP, Mi an ang 62 1900, China) Ab st r act : Exact measurement of workpi eces ′surface is ver important to Precise machining. Two kinds of measurement instrument are compared, and transient interferometr is stressed. A phase unwrappin g meth od is introduced for measurement of workpieces ′surface, an d is app lied to recon struct the surface of th ose elements basing on one interferogram. The meth od u sed in coherence measurement is based on Furrier tran sform. The interference pattern is produced b GLAD software. The recon-struction result is acquired and compared to the original surface of optical elements, and the difference is anal zed. Ke wor d s: Optical measurement; Phase unwrapping; Fringe tracing; Phase shifting; Interferometr 0 引 言 和相位展开方法 。相移法是通过获取同一方 向上 的一 s 定相位差的多幅干涉图来计算平面波通过相位物体 对于纳米级以下工件面形的高精度加工，面形精 的相位变化 ，条纹跟追方法是通过计算干涉 图中的干 确测量非常