原创力文档- 1、本文档共6页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
Bi(1…)Sb。舍金薄膜的输运性能研究 ．，1q．
——一一～————————————————————～—————————————————_二二——一
Bi(1一x)Sbx合金薄膜的输运性能研究。
范洪涛。李广海
(中国科学院固体物理研究所舍肥230031)
Transport of ThinFilms
Properties
Bi{a—z)SbxAlloy
Fan Li
Hongtao
Guangbai
of
(InstituteSolidState of
Physics，Chinese
AcademySciences,Hefei，230031)
摘要本文采用射频磁控共溅射法制各了Bi(1_。)sk合金薄膜，研究了薄膜的
结构和电输运性能。结果发现，随着溅射靶材中sb含量的增加，与纯Bi标准谱相
比较，所制备的Bi—sb薄膜样品的衍射峰(012)逐渐向高角度方向移动，表明Bi与
sb已经合垒化，形成了Bi(1…)Sb合金薄膜，且薄膜中Sb的含量逐渐增加。随着
温度的降低，样品的电阻率逐渐升高，呈现出典型的半导体行为。塞贝克(See—
beck)系数随着温度的降低，先升高而后降低，最大值与Sb在Bin一)Sb，合金膜中
的含量有关，分析讨论了产生这些现象的原因。
关键词输运性能 薄膜半导体热电效应
films
Abstract thin were
Bi(1J)SbiallW dep(x4tedbyusingRadio-Frequencymawnetron
cnsput
Thesm]ctttreand were XRDPPMS
tering transport and It
propertiesinvestigatedby respectively
was of
foundthat theBi—Sb thinfihns re—
the(012)diffraction with
peak alloy moved“)high
angle
tothe XRD of Bi Sb All
spect standard with the content showa
pure smrlples
pattern increasing typl—
in versus
cal∞mic。rlductorbeh
文档评论（0）