混合产品制程中基于变权值EWMA的批间控制方法研究.pdfVIP

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2017-08-10 发布于安徽
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混合产品制程中基于变权值EWMA的批间控制方法研究.pdf

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ofthe Conference 27“ChineseControl Proceedings 16—1 July 8，2008，Kunming，Yunnan，China 混合产品制程中基于变权值EWMA的批间控制方法研究枣郑英，侯明阳华中科技大学控制科学与工程系，武汉430074 E—mail：zyhidy@mail．hust．edu．ca 摘要：批问(Run-to．Run，R2R)控制已广泛应用于半导体牛产行业。指数加权移动平均(ExponentWeightedMoving Factor)是EWMA控制器的毛要参数。一 Average，EWMA)反馈控制是R2R控制的一种霞要算法。折扣因子(Discount 般的半导体生产过程研究都足针对单一产品，然而在实际生产中同一乍产线往往生产不蚓的产品。本文以实际生产过程中混合产品少量多样的特点作为模型，应用基于产品(Product．based)的控制方法进行分析，同时引入变折扣因子的EWMA控制算法，并通过对实际过程的模拟来检验这个算法的可jJ：性。关键词：批问控制，指数加权移动平均，折扣因子，基于产品 in OnVariableEWMABasedRun-·to--RunControl Weight MixedProductProcess ZhengYing，HOUMingyang ofControlScienceand ofScienceand University Technology，Wuhan430074，P．R．China Department Engineering，Huazhong E—mail：zyhidy@mail．hust．edu．ca Abstract：Run-to．Run insemi．conductor industries Control(R2R)isadopted manufactufingnowadays．ExponentWeighted an R2R is ofEWMAcontroller． factor MovingAverage(EWMA)isimportantalgorithm．Discountmajorparameter Semi—conductor researchis with thereare manufacturingprocess generallydealing high singleproduct．However，practically mixed atonet001．Inthis ofmixedin isconsidered practical process productsprocessed work，high—mixproduct manufacturing EWMA withvariablediscountfactoris inthe