一种新结构的高分子电容湿敏元件.pdfVIP

垫 三兰歪二壁堑堕塑箜墅王皇查堡墼垄生—— 了列石丸少 一种新结构的高分子电容湿敏元件 王年元 (上海大学理学院，201800，上海) 摘要近两年，高分子膜电容型湿度传感器已进入实用阶段，但其新结构的研 究仍在发展。我们研究了一种带硅过滤器的新型结构。文中介绍了这种新结构 湿敏元件的结构原理及其主要特性，并对一些关键问题作了讨论，表明i占种新 结构是微型固态传感器设计的一种新思路。 关键词 高分子膜 湿度传感器过滤器硅杯一体化 (… 引 言 近年采，湿度传感器的研究集中在改善和提高元件的稳定性和可靠性上，以寻求更好的高 精度、高可靠和长寿命的湿度传感器，尤其是微型固态湿度传感器。 聚酰亚胺膜作介质制作的高分子电容型湿敏元件．利用了聚酰亚胺膜可逆的吸收和放出水 分子使其介电常数随之变化的工作原理。这类湿敏元件的可靠性因素是多方面的，尤其是电极 结构设计因素和环境沾污效应使元件长期工作的稳定性和可靠性遭受损管。“。若将高分子膜湿 敏元件与过滤器设计成一体化，即构成一种自带过滤器的电容型湿敏元件，其稳定性与工作寿 命将会大大改善。 1 结构及工作原理 图1(a)是一种湿敏元件与硅过滤器一体化结构的剖面示意图。传统的高分子膜湿敏元 件，是在硅片上加工高分子膜湿敏部分形成了感湿面暴露在上方的结构㈦。本文设计是在硅片 与元件感湿面之间形成一个空腔，而空腔部位的硅片加：[呈栅孔一硅杯式过滤器，如图1(b) 所示。 (b)过滤器栅孔 (a)结构剖面目 圈1元件结构示意图 98湿度·水分·气体 由图可见，该结构是将湿敏元件与过滤器设计成一体化的微型构造，高分子电容型湿敏元 件被安置在微型硅过滤器的空腔内，元件的感湿面正对着过滤器的栅孔。元件工作时，环境气 氛中水分子可由栅孔进入空腔而达到元件的感湿面。硅杯式过滤器的拇孔对于气氛中水分子是 可以通畅无阻地自由进出，而栅}L对于气氛中的烟尘、灰尘及飞飘的纤维等沾污物起到了阻挡 作用。本设计的湿敏元件感湿面在腔内，使极易遭损伤和沾污的金膜受到了保护．同时又能直 接检测环境湿度。该结构的一面是硅片，另一面使用保护胶密封，使整个元件呈带过滤器的封 装形式，对于改善敏感器件的工作稳定性和提高工作寿命有明显作用。 2结果和讨论 2．1湿敏特性 图2示出了带微型过滤器的高分子膜湿敏元件的湿敏特性实验曲线。由图可见该曲线仍保留 着纵向电容结构的湿敏元件的良好线性。图2(a)是25。C时在4种不同相对湿度气氛的饱和盐溶 的。计算出的元件灵敏度为0．2～O．28Pf／％RH，最大感湿温度系数为一0．15hRH／oC。 汐 圈2兀件湿敏特性曲线 2．2稳定性测试 测试分2种情况，一种是将元件存放在常温常湿的器皿中，每隔一个月拿出进行高湿环境测 试，共测试6次。测试结果如图3(a)所示。另一种是恒湿存储测试，将元件放置于相对湿度分别 结果表明器件性能稳定，其误差小于±3％Rll。 lc《pD {“㈣ ：，2l卅 。髑{—J掣L 97删 l 啪l。辫。．． }1矿百r可r1葡1；i—i；矿—t时向(天)}-茹1石1守i；石‘菇i—_时问(天) 图3元件稳定性试验曲线 王年元～种新结构的高分子电容湿敏元件 2．3过滤器对响应时间的影响 图4是湿敏元件的响应曲线，图中两种湿敏元件的尺寸相同。实线为不带过滤器的