采用拍频检测的内嵌型微环传感器研究.pdfVIP

第27卷 第 11期 传 感 技 术 学 报 Vo1．27 No．11 20l4年 11月 CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORS NOV．2014 NestedMicroringResonatorSensorUsingBeatFrequencyDetection HongWei， ，ChertQian，GuGuoHua (1．SchoolofElectronicandopticalEngineering，Na ngUniversityofScienceandTechnology，Na， 210094，China 2．MinisterialKeyLaboratoryofJGMT，NanfingUniversityofScienceandTechnology，Naajing210094，China) Abstract：A nestedmicroringresonatorispresentedanditsapplicationforbeatfrequencysensingisdemonstrated． Thetheoreticalanalysisofthisstructurehasbeenobtainedbytransfermatrixmethod．Bychangingbendingradiusof theinnerring，therelationsbetweenitandresonancewavelengthspacinghavebeentheoreticallyanalyzed．Thesire— ulationresultsshow thattheresonatorrfequencyofinnermicroringsplitstotwopeaksandtherfequencyintervalof thistwopeaksisverynarrow whichshow thisstructurecanbeusedasasensordetectorinbeatrfequencysensing system．Therefore，bychangingthererfactiveindex，theoutputspectrum responseisanalyzed inopticalandmicro- waveregime．Forthisbeatrfequencysystem，thesensitivityis1×10 rerfactiveindexunit(RIU)andtherfequency shiflis4 MHz／1×10～ RIU． Keywords：microringresonator；transfermatrixmethod；beatrfequencysensing EEACC：7230 doi：10．3969／j．issn．1004—1699．2014．11．007 采用拍频检测的内嵌型微环传感器研究木 洪 玮 ，陈 钱 ，顾国华 (1．南京理工大学电子工程与光电技术学院，南京 210094； 2．南京理工大学近程高速 目标探测技术国防重点学科实验室，南京 210094) 摘 要 ：提出了一种内嵌型微环传感结构。利用内嵌型结构产生的高Q值滤波峰，采用拍频检测技术，可以实现高灵敏度传 感器。采用传输矩阵法分析了内嵌微环半径对滤波峰位置及相邻滤波峰之间关系的影响。内嵌微环的滤波峰产生了分裂， 其波长间距很小，且随折射率变化波长间距也会变化。利用该器件构建了拍频检测系统，并对该器件进行传感分析。仿真结 果表明，该结构的传感灵敏度为 1×10 折射率单位 (RIU)，其频率偏移为4MHz／1×10～RIU。 关键词 ：微环；传输矩阵法；拍频传感 中图分类号 ：TN256 文献标识码 ：A 文章编号 ：1004-1699(2014)11—1482-04 传感器在当代国民经济、改善人类生活和国防 乙醇蒸汽微环传感器 。通过微环上覆盖的氧化 建设中有着十分重要的作用。相比于传统电传感 锌纳米薄膜，吸收乙醇蒸汽而导致