非圆孔径离散采样点正交多项式波前拟合.pdfVIP

第44卷第3期 红外与激光工程 2015年 3月 VO1．44NO．3 InfraredandLaserEngineering Mat．2015 — — 非圆孔径离散采样点正交多项式波前拟合 孙文卿 ，陈 磊，李金鹏，乌兰图雅 ，何 勇 (南京理工大学 电子科学与光 电技术学院，江苏 南京 210094) 摘 要：Zernike多项式拟合是一种在光学领域中广泛应用的分析技术。由于现代光学工程中采集数 据的离散性和非圆孔径 系统的大量使用，Zemike多项式拟合不能完全满足分析 需要 。提 出了一种基 于Zemike多项式的非圆孔径离散采样点的正交多项式。通过矩阵的QR分解方法得到在离散采样点 上的正交多项式基底 。分别使用Zernike多项式和正交多项式对 150mnix90lnlTl的矩形光栅反射波前 进行拟合 ，结果表明两种方法残差波前的PV和 RMS值分别相差0．013波长和小于0．001波长。对比 不同项数拟合 的正交多项式和Zernike多项式系数表 明，正交多项式系数之间彼此独立，并 由正交多 项式系数计算得到 了对应的Seidel像差。正交多项式各项系数可以逐项求解 ，该方法可以显著提高求 解速度 。 关键词 ：光学测量； Zernike多项式 ； 正交多项式 ； 波前拟合 ； 非 圆区域 中图分类号 ：TH744．3 文献标志码 ：A 文章编号 ：1007—2276(2015)03—1068—05 Discretesamplingpointsofnon—circularapertureorthogonal polynomialswave—frontfitting SunW enqing，ChenLei，LiJinpeng，WulanTuya，HeYong (SchoolofElectronicEngineeringandOptoelectronicTechniques．NamingUniversityofScienceTechnology，Nanjing210094，China) Abstract：TheZernikepolynomialisawidely used analyticaltechniquein optics．Becauseofthediscrete sampled measurementdata and widely used non—circle aperture system in modern opticalengineering， Zernikepolynomialfittingcannotsatisfyarequirementcompletely．A kind ofnon—circleaperturediscrete sampled orthogonalpolynomi albased on Zernike polynomialwasproposed．The orthogonalbasiswas obtainedusingmatrixQR decompositionmehtodfordiscretesamples．Zemikepolynomialandorthogonal polynomi alwereusedforfi~ing150mmx901Tllnrectangulargratingwave—front．ThedifferencesofPV and RMS between two mehtodsare0．013wavesand lesshtan0．001wavesrespectivel