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第3l卷增刊 稀有金属材料与工程 1
V01.31,Supp
RARE
2002年9月 METALMATEmALSANOENGINEERING 2002
September
溶胶一凝胶法制备的堇青石陶瓷显微结构分析
罗凌虹1’2,周和平1,徐琛
(1清华大学,北京100084)
(2景德镇陶瓷学院,江西景德镇333001)
摘要:详细研究了由溶胶-凝胶法(sol-get)制各的堇青石粉末烧结体的显微结构.该烧结体是一种低介电常数(x≤55,在1MHz),
低介电损耗(tano≤10。。。在1
MHz)和低温烧结(r≤1
究具有理论与实际双重意义。本实验的重点在于研究从无定形形态中所析出纳米微晶的大小;形貌以及棒状晶体的生长方向。由
XRD结果表明:实验烧结的试样中所析出晶体的晶型都为六方型a一堇青石。同时大致计算出一棒状六方型。.堇青石晶体的生长
方向大致为在(o001)面上与晶体的a轴成1矿的夹角(即为卜140I方向)。
关键词:溶胶.凝胶法:六方型t/一堇青石;晶体生长方向
中图法分类号:TGl74.74+6’文献标识码:A 文章编码:1002—185X(2002)S1—0284—04
现今电子产品的发展趋势,粗略可以归纳为“四 变,使其烧结体的显微结构变得十分具有特点。本实
化”,即小型化、移动化、数字化和高频化。而多年 验正是出于此点,对其烧结体的显微结构进行了深入
来,电感器的技术发展相对滞后,影响了电子产品的 而详细的探讨。口.堇青石的晶体结构(六方晶型)【4】。
整体发展。在多层片感的研究和工业化方面,曰本走 硅氧四面体组成六联环,环与环之间借A1“,Mg“
在了世界前面。尤其在高频应用方面,日本的TDK 相联,Mg“作6次配位,形成镁氧配位八面体,A1”
公司、村田公司、太阳诱电公司和TOKO公司都有自作4次配位,形成铝氧四面体,电荷的不平衡导致在
谐振频率高于4GHz产品。美国的水平仅次于日本。 环状络阴离子里有一个硅氧四面体被铝氧四面体所
据资料报道IlJ:用于高频(几个G的范围)片式电感的置换,并且,六联环中的铝氧四面体作无序分布。沿
介质材料是一种低介电常数(电介质常数r--4.5—5.5,C轴方向,上下叠置的六联环错开一定角度,上下叠
1MHz)、f氐电介质损耗(电介质损耗tanJ≤10~,1MHZ)层的环内,形成了一个巨大的通道,大的阳离子如
的非磁性材料。用这种非磁性材料作为片式电感的介 K+,cs+以及H20分子可存于其中。
质材料才能降低片式电感的附随电容(cD)和电感量
(L),从而提高片式电感的自谐振频率(sRF)。因为
1实验过程
自谐振频率是L和G的函数,其关系式为:SRF=
1/[2
n(LCp)”2】。同时要求低温烧结是为了满足介质材料
在1000℃以下与低电阻率的金属电极(Au,Ag/Pd,Cu)
等共烧的条件,其目的是减少片式电感的电流损耗。
添加少量P205,B203的堇青石微晶玻璃能够实
现低温烧结,并且烧结体的介电常数和介电损耗十分 称量好的硝酸铝、硝酸镁、硼酸和磷酸都溶解于一定
低,所以该系统作为高频多层片式电感器的介质材料 量的蒸馏水中;正硅酸乙酯溶解于一定量的无水乙醇
来研究是一大热点”’…。传统的微晶玻璃工艺是先制 中。本实验的参数定为:TEOS与无水乙醇的体积比为
备玻璃,再将玻璃低温下热处理析出微晶。本实验所
探讨的溶胶.凝胶法制备堇青石微晶玻璃工
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