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设计分析
2015 43 1
年第 卷第 期
Design and analysis
新型塔形压电式粘滑直线作动器
1 1 2 2
陈乾伟 ， ， ，
鞠全勇 黄卫清 时运来
(1． ， 211169 ;2． ， 210016)
金陵科技学院 南京 南京航空航天大学 南京
: ， (＜ 5 nm)，
摘 要 为了达到纳米级的定位精度 并考虑到压电式粘滑作动器能够达到极高的定位精度 研发了
。 ， 4
一种塔形压电式粘滑直线作动器 该作动器由塔形定子和动子构成 其中塔形定子由 片压电陶瓷与金属弹性体粘
， 。 ， y － z
接构成 动子在预压力的作用下与定子保持接触 当输入锯齿波激励信号时 塔形定子利用 面内强迫弯曲振动
， 。 ，
来激发定子驱动足产生非对称切向振动 从而驱动动子正反向运动 在分析电机工作原理的基础上 制作了原理样
， 。 : 400 V 、 6
机及其实验装置 然后进行了模态实验和机械特性实验 实验表明 锯齿波激励信号的峰峰值电压 预压力
N ， 8 000 Hz， ， 1． 2 mm/s ; 1 Hz， ， 35 nm/s 。
的条件下 当激励频率 该作动器速度最大 为 当激励频率 该作动器速度最小 为
: ; ; ;
关键词 压电作动器 塔形 粘滑 锯齿
中图分类号:TM359． 4 文献标志码:A 文章编号:1004 － 7018 (2015)01 － 0028 － 03
A New Type of Linear Piezoelectric Actuator with a Tower － Type Stator Based on Stick － Slip Principle
CHEN Qian-wei1 ，JU Quan-yong 1 ，HUANG Wei-qing2 ，SHI Yun-lai2
(1． Jinling Institute of Technology，Nanjing 211169 ，China ;
2． Nanji
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