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台式扫描电镜对比表：日立TM -3000 vs. FEI Phenom
分辨率 无官方数据 25nm
表征扫描电镜性能的最重要参数
标准金样品
放大倍数 15-30,000x 80-45,000x
光学放大 无 20-120x
除光学放大之外,还可以实现
样品导航
电子枪灯丝 钨灯丝 CeB 晶体
6
高亮度、低色差灯丝有助于提高图像
分辨率 低色差、亮度是钨灯丝10倍，
低亮度，40-80h寿命
1500 h寿命
加速电压 5kV ,15kV 固定5kV
高加速电压可以提高分辨率，但会
造成样品的损伤和穿透效应，对低 配合CeB 灯丝，即使在低加速
6
钨灯丝亮度低,加速电压要求
原子序数样品尤为严重，真正体现 电压下，图片分辨率仍很高而
高, 5kV下图像质量差
扫描电镜的技术含量是低电压下仍 且细节丰富
能得到高分辨率
低真空技术 真空度最高50Pa 真空度最高60Pa
可以实现不导电样品不用喷金直接
FEI拥有业界公认最好的低真
低真空模式下会严重影响钨灯
观看 空技术，而且真空分级设计保
丝寿命
证低真空下灯丝寿命不受影响
信号探测 四分割背散射电子探测器 四分割背散射电子探测器
高灵敏度的半导体探测器保证低
真空模式下仍得到高质量图片
成像模式 成份像形貌像 成份像形貌像
通过分割探测器所得的信号相叠加或
相减分别得到成份像和形貌像
成像时间 3分钟
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