薄膜微型电感器等效电路分析.pdfVIP

RECORl)lNG～IEDIA 薄膜微型电感器等效电路分析 白 宁1，冯则坤2，岳帅旗2 (1．南京金宁电子集团有限公司，南京210028；2．华中科技大学电子科学与技术系，武汉430074) 摘要：提出了磁性薄膜电感器的改进型等效电路模型。基于改进型等效电路，通过有限元法对薄膜电感 器进行仿真研究，分析电感器的各个结构参数以及材料的特性参数对电感器整体性能的影响，并讨论了涡流效 应和磁性薄膜对薄膜电感器特性的影响。结果表明选用较高电阻率的磁性薄膜和优化磁路设计，是薄膜电感器 设计中必须考虑的问题。 关键词：薄膜电感器；等效电路；涡流 中图分类号：TQ58 文献标识码：A 文章编号：1009—5624一(2010)03—0060—05 表示。薄膜微型电感器是平面电感器的一种，“微 1 引言 型”指的是电感器的体积小，是从物理尺寸角度 的描述，“薄膜”指的是通过磁性薄膜的引入而提 随着微电子技术的不断发展，各种电路系统 高电感器性能，是电感器结构上的优化。 的集成度和工作频率越来越高，因此各种电子元 对器件的分析总是建立在一定的模型基础之 器件的小型化和高频化成为必然的发展趋势。电 上，薄膜电感器的研究也不例外，薄膜电感器优 感器作为三大无源器件之一，在众多领域有着广 化研究的有效性在很大程度上要依赖于其等效模 泛的应用，但是电感器的小型化速度相对于其它 型的准确性。准确的模型能够对电感器的性能变 电子器件而言要滞后许多，成了进一步提高系统 化提供准确的解释，并且会为性能的优化指明方 集成度的瓶颈。而薄膜电感器由于磁性薄膜的引 向。本文在经典兀等效电路模型的基础上，考虑了 入，可以有效的提高电感量，并使高频性能得到 薄膜中涡流的影响以及薄膜磁化对互感的影响， 改善，它的出现为电感器的小型化、高频化开辟 提出了改进兀等效电路模型，并且通过仿真讨论了 了有效的途径，显示出强大的生命力，将成为未 模型的有效性，从而更加有效的指导薄膜电感器 来电感器的主流，因此薄膜电感器的研究成为当 的设计。 前的热点之一。 电感器是利用自感和互感效应制备出来的一 2经典兀等效电路模型 种无源器件，在电路中存储磁能并且完成磁能与 电能的转换，其磁能存储及转换能力用电感量来 模型是现在分析薄膜电感器时被普遍采用的经典模 收稿日期：20lO—03—22 型，其等效电路模型结构如图1所示[1吲。此后大多 作者简介：自宁(1953一)，男，山西阳泉人，高级工程师，主要从事磁数关于薄膜电感器的等效电路模型都是建立在该模 性材料及器件的应用和产品研究。冯则坤(1951一)，男， 湖北监利县人，教授，主要从事磁性材料与器件的教学科 型的基础之上的，如CYang，F．Liu等人在分析 研工作。 铁氧体薄膜电感器时所采用的等效模型睁4|。 匾一 万方数据 信息记录材料 2f11f1年篱{{卷 第期